分子泵与扩散泵的关系

分子泵与扩散泵的关系,第1张

 分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的,两个是同级的。但两个泵又各有不同的优点和缺点,所以在市场上两者是并存的。

1:分子泵体积小,耗能小,对真空室的污染比较小。但是相比扩散泵,分子泵的抽气速度比较低,维护成本比较高(精密)。

2:扩散泵可以设计为很大的抽速,购置成本比较低。但是扩散泵体积比较大,能耗高,会对真空室有很重的油污染,一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高),不环保。

按趋势来讲,高真空泵还是向分子泵方向在发展,但是由于分子泵叶片转速很高,所以对轴承有很高的要求,国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好,国外的分子泵价格又过高,所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵。只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵。

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1.真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空的基本设备,由于现代科学技术的高度发展,真空泵的应用遍及各个科学领域和各种企业事业单位,可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产与教学之用并广泛在榨油机上使用。

2.由于真空泵是用黑色金属制造,而且比较精密,整个泵的工作都是联系在一起的,所以它不适用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀黑色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不可做为压缩机和输送泵使用。如有气镇装置的泵,可抽除一定地的可凝汽体。

3.真空泵可以用来直接获得真空度在10~3托以下的真空作业,以及配合其它真空作业之用。

4.真空泵一般在不低于5℃的室温及不高于90%的相对温度的环境内使用。


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