“p型硅”和“n型硅”分别掺杂什么元素?

“p型硅”和“n型硅”分别掺杂什么元素?,第1张

“p型硅”  硼元素

“n型硅”   磷元素

导电率在10*e-7 ~ 10*e3 之间的材料都称为半导体,有一些半导体是纯元素,如硅,锗,这构成了半导体的基础。

纯净的硅更像是绝缘体,而不是导体,当它被施加外部作用时(比如外加电压),没有能力改变其导电状态。所以必须往硅里面掺杂其它的元素,现在最重要的两个元素是----硼B和磷P。

当硅片被掺入硼或磷时,它的导电性就显著的改变了。通常情况下,一个纯硅片中是没有自由电子的,它所有的四个价电子都被锁住在与相邻硅原子的共价键中,由于没有自由电子,外加电压几乎无法导致电子流过硅片。

把磷加入到硅晶片中后,情况将发生改变。与硅不同,磷有五个价电子,而不是四个。其中,四个价电子和相邻的硅原子的四个价电子形成共价键。但第五个价电子没有电子结合,将飘浮在原子周围。如果一个电压施加到硅-磷混合物,这个未被束缚电子将穿过掺杂的硅片向电压的正极移动,向混合特中掺杂的磷越多,产生的电流越大。掺入磷杂质的硅称为“N型硅”,或“负电荷载流子型硅”。

一个磷原子加入到硅晶片中提供了一个未被束缚的电子,增加了电导率。加入了磷元素的硅称为N型硅。

参考资料

P型硅与N型硅的区别.移动开发[引用时间2017-12-19]

不同的掺杂元素的原子质量各不相同,质量较小的原子扩散较快,可以用于在较大范围内比较均匀的低浓度掺杂,电阻率达不到较低水平;质量较大的原子扩散较慢,但因此易于控制扩散边界和浓度,因此可用于制造小范围内高浓度掺杂。

到底选择什么材料来做掺杂,有几个方面的考虑:

(1)原子的重量(AtomMass)。掺杂一般是有两种工艺:扩散(diffusion)和离子注入(ionimplantation)。所谓扩散,就是把掺杂原子直接跟单晶硅表面接触,再加上热能的辅助,杂质原子会扩散到硅晶体里面。但是,不同的原子,扩散系数(diffusioncoefficient)是不同的。笼统而言:原子质量越高的,扩散系数会更低,也难扩散到比较深远的位置。而离子注入所能到达的深度,更是跟原子质量息息相关。原子质量越大,越需要高能加速,才能注入到更深的区域。但副作用就是,原子质量越大,加速的能量越高,会对单晶硅造成更严重的晶格损伤(Latticedamage)。如果单晶硅被打成筛子,就成了多晶硅了(armophous),其光学特性和电学特性都会改变。所以,在离子注入之后,一般需要高温煺火(thermalannealing)。高温煺火作用有二:(i)修复晶格损伤,(ii)激活(thermalactivation)掺杂原子的自由电子(或空穴)。这个煺火温度肯定要低于硅的熔点,否则硅片都成液态了。但即便如此,如果latticedamage过于严重,煺火不见得能完全修复。

(2)激活能量(ActivationEnergy)。掺杂的原子进入单晶硅取代硅原子的位置,还需要煺火处理,来激活自由电子(空穴),从而改变半导体材料的导电性。不同的掺杂原子,其电子(空穴),从禁带(bandgap)里面的能级跃迁到导带(conductionband,对应电子)或者价带(valenceband,对应空穴),所需要提供的能量差是不一样的。具体的数值,我记得在半导体物理类的参考书里面有一个表格可以查到。这个能量差越大,需要煺火的温度越高。而集成电路制造,一定是有thermalbudget的,即,不能用太高的温度(+太长的煺火时间),否则会影响之前其他工艺流程所达到的参数。

所以,选择什么元素做掺杂,一定是个综合考量的过程。比如,希望在小区域内形成高浓度掺杂,用离子注入,低能量,重掺杂原子,效果会好。而希望在大的区域内形成比较均匀的低浓度掺杂,用扩散,轻一些的掺杂原子,更能达到目的。

P型,掺杂铝、硼、嫁等三价元素,成为空穴型半导体,性质为最外层有三个电子,与硅形成共价键,易得到一个电子。

N型,掺杂磷、锑、砷等五价元素,成为电子型半导体,性质为最外层有五个电子,与硅形成共价键,易失去一个电子。

当P-N结同时存在时,而N型的电子浓度大,向P型一侧移动,造成电子在P型材料富集,表现负电荷;同样,P型的空穴浓度大,向N型一侧移动,造成空穴在N型材料富集,表现正电荷;这样内建电场就形成。

在P-N结的内建电场作用下,N区在太阳能电池受光面时,P区的电子向N区运动,即受光面积累大量电子;P区在电池背光面,N区的空穴向P区运动,积累大量空穴。在电池受光、背光两面引出金属电极,并用互连带连接负载,用电表就能检测到有电流在负载上通过。


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