1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

是国企

柏诚系统科技股份有限公司创立于1994年,总部位于江苏省无锡市。公司主要专注于为高科技产业的建厂、技改等项目提供专业的洁净室系统集成整体解决方案,覆盖半导体及泛半导体、新型显示、生命科学、食品药品大健康等国家重点产业,是国内少数具备承接多行业主流项目的洁净室系统集成解决方案提供商之一。公司拥有机电工程施工总承包一级、建筑工程施工总承包一级、建筑机电安装工程专业承包一级、建筑装修装饰工程专业承包一级、电子与智能化工程专业承包一级、消防设施工程专业承包一级、工程设计建筑行业建筑工程乙级、工程设计化工石化医药行业乙级、工程设计化工石化医药行业药物制剂甲级、承压类特种设备安装、修理、改造(工业管道安装GC2)等齐全的行业资质,并通过了ISO9001、ISO14001和OHSAS18001三位一体体系认证。伴随着国家改革开放和工业化的步伐,公司参与并见证了国内半导体及泛半导体产业、新型显示产业、生命科学产业、食品药品大健康产业以及其他智能制造产业的高速发展。在这些产业领域内,公司秉承独特的价值理念,精细化的管理体系,通过良好的客户口碑以及众多遍布全国、享誉业界的精品业绩,奠定了国内洁净室系统集成


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