Al,Ar,Ge,Ne 中哪个可以做半导体

Al,Ar,Ge,Ne 中哪个可以做半导体,第1张

Al是铝,金属,但性质有些接近非金属;

Ar是氩,惰性气体

Ge是锗,金属,但性质有些接近非金属;

Ne是氖,惰性气体.

能做半导体的元素都是在元素周期表上处于金属和非金属交界的元素.惰性气体是一定不行的.因此应该是Al和Ge.

半导体芯片制造过程都要很严谨的设备,包括功率作用的半导体也一样。

一般来说半导体制程中的

“热”包括:晶圆的拉晶用高温蒸镀电热管,切晶圆和功率晶粒,功能晶片的高温钻石刀,封装的高温制程有各种热导管和热熔炉,测试用的高温高压蒸馏炉箱。

“气”包括有各种氧气,氮气,酸性,碱性,活化气,钝化气,阻隔气体和促进气体。

做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到。

硅烷和笑气,长氧化硅时候用。

HCL:清洗wafer的时候用。

CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用。

SF6:蚀刻Si的时候用。

其他还有BCl3, Cl2, Ar差不多都是蚀刻的使用。


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