至纯科技—立足高纯工艺，半导体清洗设备将迎增长

东吴证券发布投资研究报告，评级: 增持。

至纯 科技 (603690)

国内高纯工艺系统龙头，后发进军半导体清洗设备业务

至纯 科技 主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务，2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元，占比总收入的65%和8%。其中，半导体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元，CAGR达48%，归母净利润从1770万增长至1.1亿，CAGR达57%。

2019年公司收购波汇 科技 进军光传感器市场，产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。

高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司提供稳定的现金流

高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%-8%。

公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监，团队技术积累深厚，帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。

进军半导体清洗设备领域，赛道好空间大，容易率先实现全面国产化

清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%，较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低，比较容易率先实现全面国产化，故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元，到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量，其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。

公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备（难度低）和单片式清洗设备（难度高）。2019年起开始批量出货，目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势，迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元（截止2019年末，累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机）。目前公司启东一期生产基地全面建成，已达到48套/年的产能，一二期共规划96套/年，公司于2019年12月发行可转债，募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产，预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。

盈利预测与投资评级：

我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿，当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍，在可比公司中处于最低位置，我们看好公司半导体清洗设备业务的发展，在估值上存在提升空间，首次覆盖给予“增持”评级。

风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险；收购协同效应不及预期。

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半导体材料龙头股票有哪些？

半导体材料龙头股票主要有以下几只：

1、万业企业(股票代码600641)，万业企业股份有限公司是一家房地产企业,公司主要从事实业投资、资产经营、房地产开发经营、国内贸易(除专项规定外)、钢材、木材、建筑材料、建筑五金。

2、晶盛机电(股票代码300316)，浙江晶盛机电股份有限公司是晶体硅生产设备供应商。公司自设立以来专注于拥有自主品牌的晶体硅生长设备及其控制系统的研发、制造和销售。

3、北方华创(股票代码002371)，北方华创科技集团股份有限公司主要从事基础电子产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件。

4、精测电子(股票代码300567)，经过多年的发展，公司中后道制程检测系统的产品技术已处于行业领先水平，技术优势明显，为公司的快速发展奠定了基础。

5、长川科技(股票代码300604)，公司主要产品包括集成电路测试机、分选机。公司掌握集成电路测试设备的相关核心技术,是国内为数不多的可以自主研发、生产集成电路测试设备的企业。

6、中微公司(股票代码688012)，中微半导体设备(上海)股份有限公司的主营业务是聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。

7、至纯科技(股票代码603690)，上海至纯洁净系统科技股份有限公司的主营业务主要包括高纯工艺系统的设计、制造和安装调试半导体湿法清洗设备研发、生产和销售。

8、芯源微(股票代码688037)，沈阳芯源微电子设备股份有限公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片式湿法设备(清洗机、去胶机、湿法刻蚀机)。

9、华峰测控(股票代码688200)，北京华峰测控技术股份有限公司主营业务为半导体自动化测试系统的研发，生产和销售公司的主要产品为半导体自动化测试系统及测试系统配件。

能涨但是不会存在暴涨的情况。

1.盛美股份上市在即，其美股母公司ACMR隔夜突然大涨12%，创6个月新高。作为对标盛美的完美标的，只有40倍pe的$至纯科技(SH603690)$ 随时准备点火发射。盛美股份最近一次出现在热点新闻中，是入选传闻中的华为的“塔山计划”。该计划列出的16家第一批入围公司的名单中，排在第三位的就是盛美。

2.21世纪经济报道盛美股份最近一次出现在热点新闻中，是入选传闻中的华为的“塔山计划”。该计划列出的16家第一批入围公司的名单中，排在第三位的就是盛美。

该计划被指华为意在建立资源池，扶植半导体材料、设备企业。记者经研究发现，名单所列公司确实是半导体设备各细分领域的佼佼者，盛美便是半导体清洗设备的龙头。

3.将目光移到资本市场，盛美早在2017年11月就登陆美国纳斯达克，并于去年启动了科创板上市计划。今年6月1日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称盛美股份）科创板IPO申请获得上交所受理，6月9日项目动态更新为“已问询”，近日，盛美股份回复了上交所首轮问询，揭开了这家公司更多的上市细节。

4.如果顺利，盛美股份将成为首家美股分拆登陆科创板的公司，对于科创板探索全球化发展具有重要意义。更为重要的是，在美国对华半导体行业禁令持续收紧的情境下，身处半导体设备关键环节的盛美股份，在加速国产替代方面被寄予厚望，而登陆科创板将为之提供资本助力。

5.首例美股分拆科创板公开资料显示，盛美股份的控股股东是美国ACMR，持有盛美股份91.67%的股权，其于2017年11月在美国纳斯达克上市，股票代码为ACMR，是首家赴美上市的中国半导体设备公司。值得注意的是，美国ACMR仅为控股型公司，于1998年在美国硅谷成立。2005年，美国ACMR在上海投资设立了公司的前身盛美有限，并将其前期研发形成的半导体专用设备相关技术使用权投入盛美有限，并以盛美股份为主体继续开展持续的研发和技术积累工作。

6.2019年，盛美股份完成了股份制改革，并于当年启动科创板上市计划。在今年4月的一次行业论坛上，盛美股份创始人王晖表示，“希望在2020年完成科创板登陆，这可能是第一家纳斯达克公司的子公司登陆科创板，从而探索科创板全球化的新模式创新，为全球科创企业进入中国市场、进入中国金融市场树立榜样。”

7.今年6月1日，盛美股份科创板IPO申请获得上交所受理，并在6月9日更新为“已问询”。不过，记者注意到，盛美股份首轮问询的回复时间较长，直到8月14日，才更新了首份回复函。

8.根据回复函，上交所首轮问询的第一个问题就注意到公司控股股东为纳斯达克上市公司，要求公司披露ACMR分拆盛美股份上市是否履行了相关政府监管机构以及纳斯达克的批准、信息披露义务；本次发行上市对ACMR中小投资者的具体影响，相关股东之间是否存在纠纷或者潜在纠纷；发行人本次信息披露与美国ACMR上市申请文件及上市后的信息披露是否存在差异，差异原因及合理性。

9.盛美股份回复称，ACMR已经就公司上市进行了信息披露，本次上市申请无需再获得美国任何政府当局或监管机构的同意或其他行动，也无需履行通知、备案等程序。本次发行上市未影响ACMR的公司治理结构和股东权利，并已取得ACMR董事会批准。同时，二者披露的信息不存在重大差异。

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