半导体设备中的关键词--真空

   真空，指某一个容器中不含有任何物质（现实生活中并不存在真正的真空），通常我们把低于正常大气压的容器状态就叫做真空状态。绝大多数半导体工艺设备都需要真空。

  真空度，表示该容器中，气体的稀薄程度，通常用压力值表示。实际应用中，有绝对真空和相对真空两种说法。

  绝对真空，又可以叫做绝对压力，绝压，它是以理论真空为零位，表示比“理论真空”高出多少压力，该值都是正值，值越小，越接近绝对真空，真空度越高；即，值越小，气体越稀薄，真空度越高；通常该值的后面会用abs.作为后缀。 比如：真空度从高到底的顺序是1 mbar abs. >10 mbar abs. >1个 标准大气压。

  相对真空，又可以叫做表压，负压，是以大气压作为零位，表示比该零位低多少，用负值表示。该值越大，真空度越高，比如真空度从高到底依次是 -1000 mbar >-500 mbar >0 mbar (大气压）。

  通常，国内习惯用相对真空来标识真空度，因为相对真空的测量方法简单，测量仪器普遍（一般的真空表都是相对真空表），大家为了表达方便，会把相对真空前面的负号去掉，比如设备的真空度是0.1MPa，实际是-0.1MPa；再比如，如果我们购买真空表时，一般卖家会问，真空度用的是绝压还是表压，这时要考虑我们自己的需求了，一般情况下我们用的是表压，即相对真空。

ABS传感器是靠感应靶轮的霍尔信号来实现感应车轮的转速，当转速低于设定值时ABS停止工作。冰雪路面刹车不用用力，使ABS工作的是刹车开关，而ABS传感器是用来检测车轮是否抱死与转速的。 ABS，顾名思义防止汽车刹车时抱死的系统。当急速踩制动踏板时，会感觉到踏板有节奏地向上d跳，这就是ABS起了作用。但有时我们会发现低速行驶时即使再快再使劲地踩制动踏板时还是没有被踏板顶脚的感觉。原因是ABS系统参与工作响应的条件有两个，一是踩制动踏板前的瞬间车速，二是滑移率，所谓滑移率就是（车速-轮速）/车速 的比。滑移率我们可以这么理解，当轮速=0时，滑移率=1，此时轮子被抱死（因为轮速已经是0了）。滑移率一定程度上可以反映刹车制动的紧急程度。这两个参数被记录在行车电脑模块（ECU）中，参数一会设置一个制动前的车速限值，如果小于这个车速则ABS不参与制动响应，这时的抱死也不可能产生危险，参数二就是这个滑移率，根据各个速度感应器给出的基础数据进行运算得出，滑移率的大小直接决定ABS以什么方式参与响应，响应的方式有三种：增压、保压、降压。增压、保压、降压是靠ABS泵中的8个电磁阀来控制。 电子控制单元是ABS系统的控制中心，它实际上是一个微型计算机，所以又常称为ABS(ECU)电脑。ABS ECU由输入电路、数字控制器、输出电路和警告电路组成。主要任务是连续监测接受4个车轮转速传感器送来的脉冲信号，并进行测量比较、分析放大和判别处理，计算出车轮转速、车轮减速度以及制动滑移率，再进行逻辑比较分析4个车轮的制动情况，一旦判断出车轮将要抱死，它立刻进入防抱死控制状态，通过电子控制单元向液压单元发出指令，以控制制动轮缸油路上电磁阀的通断和液压泵的工作来调节制动压力，防止车轮抱死。

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