EDWARDS IXH3030T 腔体怎么拆？

EDWARDS IXH3030T 腔体怎么拆？Edwards爱德华干泵维修真空泵IXH3030T 干泵维修

南昌纵鹏机械设备有限公司专业销售维修爱德华真空泵干泵，我司公在真空泵维修方面有着丰富的经验。

Edwards iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到很好的压缩比，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的Edwards iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对 *** 作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。

真空有限公司专业维修进口真空泵，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备专业和全面的真空泵维修知识和技能，多年来一直为光伏半导体太阳能行业客户维修各种进口真空泵，获得了业界客户和朋友的认可。

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我们及维修的真空泵，覆盖的品牌，维修品牌有：

法国阿尔卡特：Alcatel Adixen

英国爱德华： Edwards

德国莱宝： Oerlikon Leybold

普旭BUSCH

德国西赫：SIHIdry

贝克BECKER

科威尔KOWEL

里其乐RIETSCHLE

ALCATEL阿尔卡特系列真空泵：ADP122，ADS602 ，ADS602H, ADS602P, ADS1202，ADS1802等

Edwards爱德华系列真空泵：IXH100，IXH200H, IXH1210， IXH 1210H, IXH1220，IXH1220HT, IXH 1820， IXH1820H,IXH1820T, IXH3030，IXH3030T, IXH3045H, IXH4545H, IXH4545HT, IXH6045H, IXH6045HT,IXH450H, PXH4500HT, PXH6000， IXL500Q, IXL500R等等爱德华真空泵IXH3030T干泵维修。

Oerlikon Leybold 德国莱宝真空泵：SP630，SP630F, SV16，SV25，SV40，SV65，SV100，SV200，SV300，SV585，SV630，SV750，SV1200等等

BUSCH普旭真空泵：COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵，COBRA Industry系列干式螺杆真空泵，

Panda/Puma系列罗茨泵 R5系列旋片泵 ，

COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵包括：DS0080/0160G, DS0700-2000G, DS5161/9161A, DS0600E，DS2610/3910E, DS8162/8163A/E, BA0100C, BC0100F, BC0101F，BC1000/2000F, BC0100F Premium Efficiency,

COBRA Industry系列干式螺杆真空泵包括：BA 0100C, NX0450/0650A, NC0100-0300B, NC0400-1000B/C, NC2500B

Panda/Puma系列罗茨泵包括：WY0500C, WY0700/150B, WY2000/4500B, WV0250-1000C, WV1500-4500B/C,WP0250/0500D2/D4， WP1250-4500B2/D2, WPA080/A095A, WP0700/100DA/D4，WPA040-A075A

R5系列旋片泵包括：RA0010/0016C,RA0160-0302D, RA1000/1600B, RA0025/0040F, RA0165-0305D, RAH200/300A,RA0063/0100F, RA0400-0630C, RB0021C, RA0155A, RA0750A

贝克BECKER真空泵：VT4.4，VT4.8， VT4.10，VT4.16，VT4.25 ，VT4.40，KVT3.60，KVT3.80，KVT3.100，KVT3.140，VTLF200，VTLF250 ， VTLF360 ，VTLF400，VTLF500以及 2BV系列旋片真空泵

科威尔KOWEL真空泵：SS122， SS1200

里其乐RIETSCHLE真空泵：VWP系列罗茨泵，VSI系列螺杆真空泵

南昌专业注爱德华真空泵IXH3030T干泵维修及各类真空泵配件，并提供原厂真空泵维修保养服务！欢迎各界新老客户洽谈，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。

爱德华真空泵IXH3030T干泵维修华南区正品销售商，部分型号现货供应，提供整机，配件，维修，维修包，技术指导，欢迎咨询。

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59020945

iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59020946

iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59020957

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

一：诺贝尔物理学奖获奖者名单

1990年：弗里德曼、肯德尔（美国）、理查德·爱德华·泰勒（加拿大）首次通过实验证明夸克的存在

1991年：PierreGillardJenner（法国）将研究简单体系中有序现象的方法扩展到更复杂的物质形式，特别是液晶和聚合物的研究

1992年：schapac（法国）发明并开发了一种用于高能物理的多线正比室

1993年：herrs和j．h．taylor（美国）发现的脉冲星间接证实了爱因斯坦预言的引力波的存在。

1994年：brockhouse（加拿大）和schall（美国）在凝聚态研究中发展了中子衍射技术

1995年：佩尔（美国）发现tau轻子；莱恩（美国）发现中微子

1996年：D．M．Lee，O＇Sherov，R．C．Richardson（美国）发现了在低温下无摩擦流动的氦同位素

1997年：美国的朱棣文和法国的田纳西发明了激光冷却和俘获原子的方法。

1998年：Rockling，HorstLudwigSteimer和CuiQi（美国）发现并研究了电子的分数量子霍尔效应

1999：H．Hoft和Weltmann（荷兰）阐明了弱电相互作用的量子结构

2000年，alfirov（俄罗斯）和cromer（德国）提出了不同层结构的理论，并发展了不同层结构的快速晶体管和激光二极管；jackkirby（美国）发明了集成电路。

2001年：kotler（德国）、cornell和karle．weiman（美国）在“稀碱金属原子气体的玻色－爱因斯坦凝聚态”和“凝聚态早期基本性质的研究”方面取得了成就。

2002年：RaymondDavies、RicardoGiaconi（美国）和ShoichiOzawa（日本）“承认他们对天体物理学的开创性贡献，包括他们在“探测宇宙中微子”和“发现宇宙X射线源”方面的成就。

2003年：AlexeiAbrikosov、AnthonyLeggett（美国）、VitalyJinzburg（俄罗斯）“对三者在超导体和超流体领域的开创性贡献的认可。”

2004年：DavidGross（美国）、DavidPulitzer（美国）和FrankVilzek（美国）承认他们“在量子场中发现夸克的渐进自由”。

2005年：RoyGlauber（美国）对光学相干量子理论的贡献；JohnL．Hall（美国）和TeodoreHensch（德国）对激光精密光谱学发展的贡献。

2006年：约翰·马瑟（美国）和乔治·斯莫特（美国）承认他们发现了黑体形态和宇宙微波背景辐射的扰动。

2007年：法国科学家阿尔伯特·费尔（AlbertFaire）和德国科学家皮特·克伦伯格（PeteKrunberg）对他们在发现巨磁电阻效应方面的贡献表示赞赏。

2008年：日本科学家NambuYoichiro称赞了他在亚原子物理学中发现的自发对称破缺机制。日本物理学家小林实和Maskawa提出了对称性破坏的物理机制，并成功地预言了自然界中至少存在三种夸克。

2009年：英国华裔物理学家高昆获“光通信领域光传输的开拓性成就”奖；美国物理学家威拉德·S·博伊尔和乔治·E·史密斯因“发明2010年诺贝尔物理学奖获得者成像半导体电路电荷耦合器件CCD图像传感器”荣膺此殊荣。

2010年：曼彻斯特大学科学家安德烈·盖姆和康斯坦丁·诺沃塞洛夫在二维空间材料石墨烯的突破性实验中获奖。

二：诺贝尔生理学或医学奖。

1990年，josephe．murray（美国），e．donnallthomas（美国），人类器官和细胞移植研究。

1991年，德国erwin－neher和德国bert－sakmann发现了离子通道在细胞膜上的作用。

1992年，EdmondH．Fischer（美国）和EdwinG．Krebs（美国）研究了可逆的蛋白质磷酸化作为一种生物调控机制。

1993年，RichardJ．Roberts（美国）、PhillipA．Sharp（美国）发现了分裂基因。

1994年，AlfredG．Gilman（美国）和MartinRodbell（美国）发现了G蛋白（一种运输GTP的蛋白质）在细胞信号传导中的作用。

1995年，爱德华b刘易斯（美国）、克里斯蒂安nüssleinvolhard（德国）、埃里克fwieschaus（美国）发现了胚胎早期发育的遗传调控机制。

1996年，PeterC．Doherty（澳大利亚）和RolfM．Zinkernagel（瑞士）发现了细胞介质的免疫保护特性。

1997年，StanleyB．Prusiner（美国）发现了一种新的蛋白致病因子朊蛋白。

1998，佛契哥特（美国）、路易斯·路伊格纳洛（美国）和费里德·穆拉德（美国）发现了一氧化氮在心脏血管中的信号传导功能。

1999年，GünterBlobel（美国）发现，蛋白质具有内在的信号物质，可以控制它们向细胞中特定位置的传递。

2000年，arvidcarlsson（瑞典）、paulgreengard（美国）、ericr．kandel（美国）对神经系统的信号传递进行了研究。

2001，Lelandh．Hartwell（美国）、R．TimothyHunt（英国）和PaulM．护士（英国）在细胞周期中发现了关键的调节因子。

2002年，sydneybrenner（英国）、h．roberthorvitz（美国）和johne．sulston（英国）发现了器官发育和程序性细胞死亡（程序性凋亡）的遗传调控机制。

2003年，保罗·劳特伯（美国）、彼得·曼斯菲尔德（英国）研究了核磁共振成像。

2004年，理查德阿克塞尔（美国）和琳达巴克（美国）研究嗅觉。

2005年，BarryJ．Marshall（澳大利亚）和J．RobinWarren（澳大利亚）发现了幽门螺杆菌及其对消化性溃疡的致病机制。

2006年，andrewfall（美国）和craigmello（美国）发现了rna干扰的机制。

2007年，美国科学家马里奥·卡佩奇和奥利弗·史密斯，英国科学家马丁·埃文斯。这三位科学家因“涉及胚胎干细胞和哺乳动物DNA重组的一系列突破性发现”而获得殊荣。这些发现导致了一种被称为“基因靶向”的强大技术。国际团队通过使用胚胎干细胞实现了小鼠的基因改变。

2008年，德国科学家HaraldChulHausen因发现由人乳头瘤病毒引起的宫颈癌而获奖。两位法国科学家弗朗索瓦·巴尔·辛诺西和吕克·蒙塔涅尔因发现人体免疫缺陷病毒而获奖。

2009年，美国加州旧金山大学的伊丽莎白H．布莱克本、美国巴尔的摩约翰霍普金斯医学院的卡罗尔W．格雷德、美国哈佛医学院的杰克W．绍斯塔克因发现端粒和端粒酶保护染色体的机制而获奖。伊丽莎白·布兰奇本来自加州旧金山大学。她1948年出生在澳大利亚。巴尔的摩约翰霍普金斯医学院的卡罗尔·格雷德生于1961年。此外，杰克·绍斯塔克来自霍华德·休·罗伯特·爱德华兹医学院。他1952年出生在伦敦。

2010年，英国生理学家罗伯特爱德华兹（robertedwards）因其体外受精研究获得2010年诺贝尔生理学或医学奖。他1952年出生在伦敦。

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