relacs材料的发展

你好请问是问relacs材料的发展人是谁吗？relacs材料的发展人是科莱恩。因为是relacs材料是科莱恩（Clariant）公司研发出来的一种可应用在半导体制造领域中的有机材料，例如，杂志《半导体国际》（《SemiconductorInternational》）于1999年9月公开了一篇作者为LauraJ.Peters、题目为“ResistsJointheSub-LambdaRevolution”的文章，该文章描述了一种由Mitsubishi提出的半导体工艺，该工艺在图形化用于定义通孔位置的KrF光刻胶层之后，通过形成所述RELACS材料、烘焙（bake）、清洗（rinse）的工艺步骤将通孔的尺寸由0.2μm缩减至0.1μm。

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