pcw是工艺冷却水系统。
工艺冷却水系统(PCW),亦称制程冷却水系统。主要用于冷却工艺设备,简单来说就是工艺设备的空调系统。
PCW系统中有冷冻水和冷却水这两个相对独立的系统,冷冻水由冷冻机提供,冷冻水与冷却水进行热交换,使冷却水降温从而降低设备的温度。
从生产设备抽水经水泵至板式换热器通过控制冷冻水的量来保证PCW的水温,通过过滤器后送至生产线设备,再回到水泵。构成PCW闭式循环。冷冻水侧直接回冷冻机。
工艺冷却水系统的注意事项:
冷却水系统中一般包括水箱、循环水泵、精密过滤器、板式换热器、生产设备用水点、水泵变频电气控制、温度传感器、压差传感器、压力传感器、RO补水装置、背压阀、调压阀、阀件及不锈钢管道等。
PCW在半导体厂是个非常重要的系统,出现故障会影响车间内的大部分的生产设备而导致巨大损失,系统自动化程度高,对控制要求较高,主要包括水温、压力、水质以及水泵的控制。
因为可能有水流故障,水压挤压或系统里空气阻挡。
冷机是具有较低温度的被冷却物体的热量转移给环境介质从而获得冷量的机器。
制冷机可分为:压缩式制冷机、吸收式制冷机、蒸汽喷射式制冷机,半导体制冷机。
冷冻水系统包括冷冻水循环系统和热水循环系统。
冷冻水循环系统是中央空调设备的冷冻水回水经集水器、除污器、循环水泵进入冷水机组蒸发器内,吸收了制冷剂蒸发的冷量,使其温度降低成为冷水,进入分水器后再送入空调设备的表冷器或冷却盘管内,与被处理的空气进行热交换后,再回到冷水机组内进行循环再处理。
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