二次配英文简称HOOK-UP,就是将工艺设备同各种主管道连接起来。
二次配管涉及的系统多,而不同系统的介质不一样,对材料性能的要求也不一样,因而材料种类也很多。
flow应该是流程的意思;capability是能力,能量,容量,有performance的意思,或者是performance里面最重要的一环;
WPH是 wafer per hour,是每小时的出片量,是throughput的一个衡量指标,说白了就是产量;
MPS好像有很多同样的缩写,不好讲,有可能是“Mass Production Schedule”
STEP就是Flow里面的每一步骤了。
简单的很,进fab待几天就都知道了。
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