半导体行业有用到超声波清洗机吗?

半导体行业有用到超声波清洗机吗?,第1张

有啊,比如清洗半导体硅片。随着半导体材料技术的发展,对硅片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。半导体,芯片,集成电路,设计,版图,芯片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。最新尖端技术的导入,使SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,硅片生产厂家也增加了对300mm硅片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化。利用超声波清洗技术,在清洗过程中超声波频率在合理的范围内往复扫动,带动清洗液形成细微回流,使工件污垢在被超声剥离的同时迅速带离工件表面,提高清洗效率。

超声波清洗方法及其放置方向

将被洗研磨硅片水平状放置在清洗槽底部上方栅栏状的石英棒框架上,在确保清洗槽内具有去离子水高度并不断流动的条件下,利用设在清洗槽底部的超声波振子进行清洗,超声波频率为40KHz,每5分钟将研磨硅片翻一个面,连续超洗至被超洗的研磨硅片表面没有黑色污染物冒出止。超声波清洗单晶硅片装置清洗槽的槽壁上设有进水口和出水口,槽底部下方设有超声波振子,清洗槽槽内设有一搁置单晶硅片的框架,框架底壁为栅栏状的石英棒形成的平面低于去离子水水平面,整个框架由支撑脚支撑在清洗槽内。

具体实施时,石英棒距离清洗槽的底壁为15厘米。清洗时,单晶硅片可以平置在石英棒上,将现有的竖超洗改成平超洗,消除了单晶硅片在竖超洗状态下,污染物会残留堆积在硅片表面,形成局部区域清洗不干净,以及承载硅片的软体花篮会吸附和阻挡掉超声波源的传递,从而造成硅片表面局部区域清洗不干净的现象,具有结构更简单、用水量大大减少的优点。

硖石灯彩———为什么叫“灯彩”而不叫彩灯呢?海宁博物馆吴德健先生解释说,这是因为硖石的灯并不是以彩为主,而是以灯为主,以灯透彩。

1913年春,久负盛名的浙江硖石灯彩来到古都南京,在“南洋劝业会”工艺

品展览中获得大奖,这是硖石灯彩第一次参加国际大展并获奖。时隔90年,硖石灯彩再次赴会南京,在马年新春佳节点亮“金陵第一园”———瞻园公园,在那里举办“浙江硖石灯彩展”的新春游园会。

硖石灯彩始于唐,盛于宋,至今已有1200多年的历史。它采用竹篾为骨架造型,糊纸绘图,完全用手工针刺花纹,精心制作,巧夺天工。早在唐代,它已经闻名遐迩,从宫廷到民间,无不以灯彩装饰为时尚。到了宋代,硖石灯彩被列为皇宫贡品。而在清代,康熙两次到海宁,乾隆四次到海宁,硖石灯彩在迎驾盛典上更是大放异彩。

在“硖石灯彩工艺社”的制作现场,笔者看到,硖石灯彩兼取南北制灯工艺之长,既有北方扎画、剪纸等技法,又有南方裱糊、粘贴之特点。它以刺纹精巧细美见长,集书法、绘画、刺绣之大成,寓诗情画意于其中。一旁的老师傅比划着介绍,硖石灯彩有“针、拗、结、扎、刻、画、糊、裱”八大工艺技法,尤以第一道工序针刺铲刻最见功夫。工匠在五层宣纸裱成的纸面上,用刻刀和针把图案以外的空隙一刀一刀铲除,一针一针刺透。它的独特之处,在于其针刺花纹,即采用多种针法,完全用手工针刺,工笔绘画。一盏灯彩少则要刺几十万个针孔,多则数百万个针孔,诗人曾用“万窗花眼密”来形容。针刺后的灯彩在灯烛的辉映下,玲珑剔透,构画出一幅幅形象逼真、惟妙惟肖的立体图画,有“尺幅神功传妙态,若比丹青觉更妍”之誉。

有灯就有会。听当地人介绍,海宁硖石灯会作为一种“迎灯寄希望,张灯报平安”的地方风俗,早已形成了演灯、顺灯、斗灯的盛况。每逢五谷丰登时,民众便有迎灯之举,历代相沿,蔚然成风。硖石灯会的特点是静态的张灯、挂灯与动态的迎灯、游灯相结合。迎灯之夜,街头巷尾张灯结彩,人们手提肩舆各式彩灯,在丝竹、管弦、鼓钹之乐中载歌载舞;迎灯队伍长达数里,观灯群众人山人海,一片欢腾。这些都使硖石灯会享有“江南第一灯会”的美称。

与以往的彩灯制作相比,现今的硖石灯彩更是体现了传统工艺与现代电、声、光技术结合的特色。笔者踏进海宁博物馆灯彩陈列室,亲身领略了硖石灯彩的风韵———

精湛细致的针孔刺花,醇厚典雅的江南书画,观赏硖石灯彩能给人“采云笼月魄,宝气绕星芒”的传神感受。在讲解员小姐的指引下,一幅大型灯彩“珠帘伞”浮现在记者眼前。它是由大凉伞演变而成,灯面一般用6层宣纸糊裱,后用针按图案纹线条,刺成连续的细圆孔,形似帘珠,灯如伞状。整座灯高达2米多,由6面伞片合成,每面伞片上、中、下均由3幅书画组成,下面悬如帘,上用布制顶,可冠以荷花灯或花篮灯。灯面图案内容丰富,有历史故事、花鸟鱼虫、人物山水,画面秀丽灵动,栩栩如生。在电声自动控制的五彩灯光辉映下,光亮从花纹细孔中折射出来,若隐若现,幽雅柔美。看着眼前的胜景,观众如同来到仙境一般。

马年初一,硖石灯彩又一次走出浙江,让更多的中外观众一睹其万千风情,从钱塘江畔来到了秦淮河边,此番出行南京,共展出中国传统特色的挂灯、宫灯、走马灯、龙舟灯180盏,其中有针刺1000万孔、堪称世界之绝的“珠帘伞”灯,有刚从海外参展归来的3米高的“聚宝盆”灯,还有形态逼真的象灯、虎灯、狮灯等大型摆灯18组。浓郁的乡土气息,撩人的灯市风情迷醉了数十万南京市民,人们扶老携幼前往观赏。这真是“天下一绝到金陵,瞻园灯彩醉游人”。


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