超声波显微镜是用什么来进行观察的?

超声波显微镜是用什么来进行观察的?,第1张

超声波显微镜,全称应该是:超声波扫描显微镜,英文Scanning Acoustic Microscope,简称C-SAM,是一种在半导体业界、材料研究领域,广泛使用的一种高分辨无损检测设备。

顾名思义,超声显微镜,当然就是以超声波为主要的探测手段,超声探头频率从5M~1000M不等,应对不同材料、不同分辨率、不同的穿透特性来决定!它的主要原理是:探头发出一定频率的超声波,射到被测物体上,在物体的内部形成反射,接收探头接收的到超声波。当扫描机构作循环往复,接收探头就会接收到整个物体的信号,再通过工控机形成图像!

世界上最著名的超声显微镜企业是德国的KSI公司,它的V系列,如V400、V300等,堪称业界的经典和传奇;其次是美国的Sonoscan,它的Fastline系列,非常有创新力,能实现多工位扫描;德国还有一家叫PVATEPLA,半导体业界比较出名,它对晶圆、晶锭等测量有独到的技术,特别是它在MEMS、晶圆键合等领域的应用。还有一家是Sonix,它也是很多美国企业采用的。

国内有一家知名网站,CSAM世界网,可以看下。

根据北京康纳森工程师的经验,超声波流量计主要应用于以下工况和行业:1 环保:市政污水测量 2 油田:原产流量测量固井泥浆流量测量 油田含油污水流量测量 油井注水量流量测量 3 水务公司:江、河、水库原水测量 自来水流量测量 4 石油化工:石化产品工艺流检测 工业循环水流量测量 5 冶金:工业循环水流量测量 生产过程耗水量测量 选矿矿浆流量测量 6 矿山:矿井排水流量测量 选矿矿浆流量测量 7 铝厂:生产过程耗水量测量 铝酸钠等工艺流流量测控8 造纸:纸浆流量测量 生产过程耗水量测量 9 制药厂:化学药品流量测量 生产过程耗水量测量 10 发电厂、热电厂:生产过程耗水量测量 冷却循环水流量测量 发电机组线圈冷却水流量测量(超小管径) 11 食品:果汁流量测量 奶液流量测量 12 锅检所、计量院:流体计量用13 学校、科研院所:测水或高温导热油如有疑问请咨询北京康纳森技术部 O(∩_∩)O~


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