以上4门为微电子基本科目
本科的集成工艺那些,基本都是泛泛而谈,不会深入。
英文的:《Semiconductor Physics and Devices》 [美] Donald A. Neamen著 有中译本:《半导体物理与器件》,包括了半导体物理和电子器件2门核心课
或者: 《Introduction to Semiconductor Devices》 也是上个人的
至于工艺,就那10多个步骤...现在都是软件直接仿,主要理论是半导体物理的,还真不知道有啥英文原版书....
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