单晶硅片为什么要倒角?多晶硅片呢?

单晶硅片为什么要倒角?多晶硅片呢?,第1张

单晶硅片倒角是为了充分利用硅棒,单晶多晶都有倒角。

单晶一般都为大倒角,是有单晶的工艺决定。单晶是有硅棒切割出来的,为了充分利用硅棒,才会出现大的倒角;而多晶一般为小倒角,是为了减少由于硅片边缘的裂纹,在外界应力的作用下使硅片或者电池片破裂。

多晶电池片也会出现大的倒角,那些一般都是小倒角的电池片,发现存在问题后有切成大倒角的。

单晶硅片用途:

区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。目前晶体直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成电路领域。 是电子信息材料中最基础性材料,属半导体材料类。

单晶硅已渗透到国民经济和国防科技中各个领域,当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅。

直拉单晶硅产品,可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。

为解决硅片边缘碎裂所引起的表面质量下降,以及光刻涂胶和外延的边缘凸起等问题的边缘弧形工艺。倒角方法有磨削、喷砂、化学腐蚀和恰当的抛光等,较普遍采用的是用倒角机以成型的砂轮磨削硅片边缘,直到硅片边缘形状与轮的形状一致为止(见图[硅片弧形边缘形状示意图])。


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