半导体厂常见的事故有哪几大类

生产线事故，伤人事故生产线的事故原因有很多，比如突然断电，正在光刻的晶圆基本上就报废了，什么涂胶的，腐蚀的全都报废。而且生产线只要一停，每分钟的损失都是剧额的，尤其是光刻机。为了曝光稳定，基本从买来到报废都不能关机和断电，中途停下来再开始很多参数就变了伤人事故一般是有毒气体或者易燃易爆气体泄漏引起的爆炸和中毒，什么硅烷，砷化氢，基本上所有用于化学气相沉积CVD的气体都不是什么好东西

检漏仪是检测管线或容器中的液体或气体泄漏的仪器。一款超高灵敏度的可燃气体检漏仪表。采用半导体的检测原理，更适合寻找，检测微漏可燃气体的位置。体积小巧， *** 作简便，携带方便，附带柔性探头，手感舒适。

中文名

检漏仪

外文名

detector

定义

超高灵敏度的可燃气体检漏仪表

原理

采用半导体的检测原理

原理

在移动扫查过程中，传感器检测到泄漏信号后，将它们转换成人耳可以听到的音频信号，并在屏幕上同时显示出来。在液晶屏幕上，泄漏源是黄色（泄漏较小，信号较弱）或者红色（泄漏较大，信号强）的实时可见图像。同时，连续声音分贝的有效值和最大值，在液晶屏幕底的横条光柱以不同颜色和数值显示出来。[1]

其它

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一款超高灵敏度的可燃气体检漏仪表。采用半导体的检测原理，更适合寻找，检测微漏可燃气体的位置。体积小巧， *** 作简便，携带方便，附带柔性探头，手感舒适。

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可用于检测甲烷、天然气、煤气、氢气、丙烷（液化气）、乙烷、乙炔、丁烷、正丁烷、异丁烷、戊烷、已烷，甲醇，乙醇，醚、丙酮，甲苯和汽油等。

主要功能及特点:

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采用日本进口传感器

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快速检测可燃气体的泄漏点

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加长柔性探头，灵敏度可调

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低电压指示

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半导体传感器高浓度保护功能

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快速预热，响应时间迅速

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随浓度变化的音频报警信号

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充电限流，过热及过温保护

主要技术参数:

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灵

敏

度：

可调

至少5ppm

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测量范围：

500

ppm

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使用环境：

温度-40℃～70℃；

相对湿度：≤95%

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预热时间：

约100s

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响应时间：

<5s

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显示方式：

六级LED指示

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报警方式：

声光报警

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供电电源：

6/1200mAh镍氢可充电电池

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充电时间：

16-18小时

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待机时间：

>6h

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重

量：

490g

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外形尺寸：

235mm×86mm×46mm

参考资料

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