半导体中step coverage是什么意思

半导体中step coverage是什么意思,第1张

在半导体中,这是定义台阶覆盖性的一个名词。在热氧化成膜、淀积成膜、涂胶、金属溅射时考量膜层跨台阶时在台阶处厚度损失的一个指标,就是跨台阶处的膜层厚度与平坦处膜层厚度比值的百分数,一般来说step coverage要求大于33%。不同的工艺,不同的膜层对它的要求不一样。

flow应该是流程的意思;

capability是能力,能量,容量,有performance的意思,或者是performance里面最重要的一环;

WPH是 wafer per hour,是每小时的出片量,是throughput的一个衡量指标,说白了就是产量;

MPS好像有很多同样的缩写,不好讲,有可能是“Mass Production Schedule”

STEP就是Flow里面的每一步骤了。

简单的很,进fab待几天就都知道了。

die

管芯〔小片〕

A single piece of semiconductor material that has been cut from a slice by scribing and breaking. It can contain one or more circuits but is packaged as a unit.

将半导体大圆片分割而成的小片。它可有一个或多个电路,但作为一个单位封装而成。

die

[dai]

n.

(pl.dies [daiz])

die

n.

(pl.dice [dais])骰子骰子状物

钢型印模冲模冲垫螺丝模, 拉丝模

【建】底座的墩身

die-block

n.

滑块, 模块, 板牙

die-cast(ing)

n.

压铸法(件)

die

adj.

压铸的

diechaser

n.

板牙梳刀

diefilling

n.

装模, 压模装料

die-hammer

n.

印号锤

diemaker

[`daI9meIkE(r)]

n.

制模工, 刻模工

die-plate

n.

压模台板

diesinker

[`daIsINkE(r)]

n.

制模工, 刻??

diestock

[`daIstCk]

n.

板牙铰手[板手], 板牙架, 螺丝绞板

dieless

adj.

无模的

as straight as a die

笔直的, 绝对真实可靠

as level as a die

笔直的, 绝对真实可靠

as true as a die

笔直的, 绝对真实可靠

The die is cast.

[谚]木已成舟。(指事情已经决定, 再也不能改变)

upon a die

在危急存亡的关头

upon the die

在危急存亡的关头

adjustable pipe die

可调管子 板牙

air-bend die

【冶】弯曲冲模

assembling die

组合模(具)

beading die

卷边压模

bed die

底模

bending die

压弯冲模, 压弯模

blanking die

下料模, 落料凹模, 冲裁模

blocker die

预锻模

bolt die

板牙

bottom die

下模

bottoming bending die

校正弯曲模

brick die

砖模

bridge die

空心件挤压模, 桥式孔型挤压模

briquetting die

压块用阴模

bulging dies

撑压模

bumping die

有固定定位装置的模具

burnishing die

挤光模

bushed die

镶衬套凹模

button die

模具镶套

cam die

斜楔模

cam actuated double-flanging die

斜楔作用的双摺缘模具

cam flanging die

凸轮式法兰成形模

carbide die

硬质合金模具

carbide press die

硬质合金冲压模

casting die

压件

压铸法

压铸模型, 压型

金属型

cavity die

阴模, 凹模, 型 腔模

cavity-embossing rubber die

橡皮压印模

ceramic die

陶瓷模

channel die V

形模

channel formingdie

槽形成形模

circular (screwing) die

圆板牙

clamping die

夹紧模, 固定用模

class-conscious dies

分级模具

clicking die

冲模冲刀

closed (forging) die

【冶】封闭(锻)模

coat hanger die

衣架模

coining die

压花模, 压印模

coining-ram dimpling die

内孔翻边镦粗模(防止翻出边开裂)

cold (forging) die

冷(锻)模

collapsible die

可拆模, 组合模

comb dies

修边模, 切边模

combination draw-reverse draw die

拉延-反拉延组合模

composite section blanking die

组合式落料模

compound die

复式压模

compound blanking-and-drawing dies

下料兼引伸复合冲模

compound-combination die

在一行程完成落料、拉延和冲孔的模具

compression die

挤压模

concentric die

同心模, 轴对轴模

conical die

拉模

锥形模

counter die

(锻造的)下模, 底模

crucible die

坩埚模型

cupping die

引伸冲模, 压延冲模

curling dies

卷边模

curved die

曲面模

cut-off die

切边模, 剪模

cutting die

板牙

割截模

dimpling die

压窝模

drop dies

锻模

drop hammer die

落锤模

expanding die

液压模, 胀形模

extruding dies

挤出机口模, 压出模, 挤压模, 挤压用的冲模

female die

阴模下半模

finishing die

精拨拉模

fluid die

液压模

flush trim die

修边模

forging die

锻模

gang dies

复合模, 多头冲模, 顺序动作模

gravity die

金属型, 硬型

grip die

夹紧模夹持坯料的可分凹模

guide post die

导柱式冲模

half die

半模

heading die

镦锻模

hemming die

折边模

high power die

大功率冲模

high-velocity forming die

高速成形模具

hinged-horn die

铰接悬臂模

hydraulically expanded rubber die

液压成形用橡皮模

hydropress die

液压模

inserted die

镶齿板牙

joggle die

阶梯模

joggling die

镦粗模

lancing die

切缝模

limit switches guarding progressive die

限位开关?さ牧�幽?

lock seaming dies

卷边接合模

locked die

带锁扣的锻模

low-cost die

低值模具, 简易模具

lower die

下模, 凹模

male die

内螺模

mallet handle die

锤压式冲模

master die

标准板牙

母模

masonite die

纤维板模具

match plate die

模板铸模

mechanical bulging die

机械胀形模

metal die

金属压型

moving die

可动式模具

multiple piercing dies

多孔冲模

multiple station die

多工位模

multiple-cavity die

多腔模(压铸)

multiple-hole die

多孔模

opening die

可拆模

perforating die

(多孔的或尺寸较大的)冲孔模

plain die

简单模

progressive die

顺序冲模

riveting die

铆工模

rocker die

滑块, 导块

roll dies

(螺)丝辊(子), 搓丝模

round die

圆螺丝钢板, 圆板牙, 圆模

screw die

板牙, 螺丝钢板

segment(al) die

组合[可拆]模

set dies

成套冲模

snap head die

铆头模

solid dies

整体板牙, 整体模

stationary rivet die

固定冲模铆钉头模

straight die

平面配合(上下)模

tandem die

(两个凹模上下相叠的)重合模

two-step die

(两个凹模上下相叠的)重合模

thread die

切丝板牙

upsetting die

顿锻模

waffle die

格状校平模

welding die

焊接夹钳

DIE

=Danish Institute for the International Exchange of Scientific and Literary Publications 丹麦国际科学及文学出版物交流学会

Design Industrial Engineering 设计工业工程学会

Document of Industrial Engineering 工业工程文献

die

电路小片

die

[dai]

vi.

死亡, 消逝, 平息, 渴望, 漠然, 熄灭

vt.

n.

骰子, 钢型, 硬模, 冲模

DIE

=Danish Institute for the International Exchange of Scientific and Literary Publications 丹麦国际科学及文学出版物交流学会


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