baking在半导体扩散中的作用和影响

SiC材料是一种疏松多孔的材料，很容易储藏一层水汽等，如果有水汽的话，你的drive in 和diffusion就难以控制了。当应用于高温drive in和LPCVD Poly等工艺时，SiC材质还需要CVD coating。温度为1100以上，时间根据你是否刚清洗完或日常处理而定

区别如下：

1. 半导体加热锅炉在后期的维护和运行成本上与电磁锅炉的相比，成本差距会逐渐加大，而高频电磁锅炉使用寿命长，成本价维护确实可以让客户省心。

2.半导体锅炉，是一种电子加热锅炉，电阻越大它发热功能越强，对于半导体来说，因为高阻质特性，发热效果就更好，另外因为它是在三百八十度以下的加热，三百八十度以上，由于材料的特点，它的电阻就会衰减到零，半导体加热管就不发热，同样的，半导体锅炉在使用上实现了水电分离，安全有保障。但无法克服加热器结水垢及功率逐渐衰减的现象，随着使用时间的推移，在长期高温或忽冷忽热温差变化极大的情况下，管壁上的电镀涂层容易消失，导致半导体锅炉功率严重衰减无法继续正常传热。

3.波力维电磁采暖炉是利用电磁感应加热原理，通过变频加热控制器将50kHz的交流电转换成直流电再将直流电转换成10-30kHz的高频低压大电流电，快速运动的电流在线圈内产生高速变化的磁场，当铁质容器放置在上面时，容器表面即切割磁力线，同时容器表面产生交变的电流（即涡流），涡流使容器底部的铁原子高速无规则运动，原子相互碰撞、摩擦而产生热能。而已起到加热物品的效果，因为是铁质容器自身发热，所以热转换率高。

拓展资料：

波力维革电磁采暖锅炉是由变频加热控制器、电磁线圈与控制系统三个部分组成的，利用电磁线圈直接作用于430不锈钢内胆上，让其自身发热，结合自主研发的余热回收双向吸能技术，有效的将产生的能源充分利用，热效率可以达到98%以上，同样是水电分离设计，在水经过加热内胆被磁化后，磁化水不易结垢，不会因为使用时间长而影响到加热效率。

通过简单的对比，我们看到电磁锅炉相对来说有更多的优势。当然，仁者见仁智者见智，希望广大消费者在选择的时候，选择真正适合自己的。

导体锅炉，它是一种电阻加热方式，温度为380度。380度以下是高阻质特性，电阻越大，发热功能就越强。比如我们不用铜丝来做发热体，因为铜的电阻小，不易发热。那么对于半导体锅炉来讲，由于它的高阻质特性，比灯泡里的钨丝发热效果要好的多。由于材料的特点，在特定温度半导体加热管就不会发热，这样一个特点使得半导体锅炉避免了过多的热量损失，提高了热效率。

半导体锅炉在使用上实现了水电分离，安全有保障。但无法克服加热器结水垢及功率逐渐衰减的现象，随着使用时间的推移，在长期高温或忽冷忽热温差变化极大的情况下，管壁上的电镀涂层容易消失，导致半导体锅炉功率严重衰减无法继续正常传热。

电磁锅炉主要是由电磁加热器（即变频器）和电磁加热炉体组成，高频交变电流作用在线圈产生交变磁场，通过电磁感应使炉体产生涡流，无数涡流对炉体进行加热，从而使路体内的水达到加热目的。由于工作频率超出人体正常音频，故工作时不会有噪声。

电磁锅炉这种加热方式，水电也是完全分离的，并且水在通过加热核心时，被磁力线切割形成磁化水，具有不宜结构的特点。霖鼎公司生产的电磁锅炉热效率高达98%以上，因为拥有自己的专利——水浸式加热炉体。

炉体采用外管套内管的方式，水从内管进入，在炉体内又循环到外管然后流出，达到双向传热的目的。这种水浸式炉体的优点在于换热面积加大了一倍，提高了热交换效率，即能防止热量流失，又能隔绝循环水的热量使线圈不发热。双向流通的水把热量全部带走到散热系统，使电磁锅炉能够节能30%，同时线圈也避免了发热甚至烧掉的隐患。

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