爱德华真空泵ih600使用说明书

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59020908

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相

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iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

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iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

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iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相

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功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度    600 m3h-1  

353 cfm  

10000 l min-1  

极限真空    7 x 10-4 mbar  

5.3 x 10-4 Torr  

0.07 Pa  

典型轴封氮流量    4 slm  

进气口连接    ISO100  

出口连接    NW40  

15 psi 压降下典型冷却水流量    240 l h-1  

4 l min-1  

重量    415 kg  

极限功率输入    3.4 kW  

电机额定功率    6.1 kW  

油容量    1.43 l  

  

所有数字均为无气镇时的典型值。

 性能

尺寸

1    进气口  

2    出口  

3    抽风口  

4    变频器箱（仅限 iH1000）  

EDWARDS IXH3030T 腔体怎么拆？Edwards爱德华干泵维修真空泵IXH3030T 干泵维修

南昌纵鹏机械设备有限公司专业销售维修爱德华真空泵干泵，我司公在真空泵维修方面有着丰富的经验。

Edwards iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到很好的压缩比，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计，可灵活配置，因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠，从而达到业内最小的占地面积。各种型号的Edwards iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置，并且由单个控制器进行管理，对 *** 作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。

真空有限公司专业维修进口真空泵，爱德华真空泵IXH3030T干泵维修，公司拥有经过专门培训的维修工程师，具备专业和全面的真空泵维修知识和技能，多年来一直为光伏半导体太阳能行业客户维修各种进口真空泵，获得了业界客户和朋友的认可。

Edwards爱德华干泵维修真空泵IXH3030T干泵维修

我们及维修的真空泵，覆盖的品牌，维修品牌有：

法国阿尔卡特：Alcatel Adixen

英国爱德华： Edwards

德国莱宝： Oerlikon Leybold

普旭BUSCH

德国西赫：SIHIdry

贝克BECKER

科威尔KOWEL

里其乐RIETSCHLE

ALCATEL阿尔卡特系列真空泵：ADP122，ADS602 ，ADS602H, ADS602P, ADS1202，ADS1802等

Edwards爱德华系列真空泵：IXH100，IXH200H, IXH1210， IXH 1210H, IXH1220，IXH1220HT, IXH 1820， IXH1820H,IXH1820T, IXH3030，IXH3030T, IXH3045H, IXH4545H, IXH4545HT, IXH6045H, IXH6045HT,IXH450H, PXH4500HT, PXH6000， IXL500Q, IXL500R等等爱德华真空泵IXH3030T干泵维修。

Oerlikon Leybold 德国莱宝真空泵：SP630，SP630F, SV16，SV25，SV40，SV65，SV100，SV200，SV300，SV585，SV630，SV750，SV1200等等

BUSCH普旭真空泵：COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵，COBRA Industry系列干式螺杆真空泵，

Panda/Puma系列罗茨泵 R5系列旋片泵 ，

COBRA Semicon系列干式螺杆真空泵包括：DS0080/0160G, DS0700-2000G, DS5161/9161A, DS0600E，DS2610/3910E, DS8162/8163A/E, BA0100C, BC0100F, BC0101F，BC1000/2000F, BC0100F Premium Efficiency,

COBRA Industry系列干式螺杆真空泵包括：BA 0100C, NX0450/0650A, NC0100-0300B, NC0400-1000B/C, NC2500B

Panda/Puma系列罗茨泵包括：WY0500C, WY0700/150B, WY2000/4500B, WV0250-1000C, WV1500-4500B/C,WP0250/0500D2/D4， WP1250-4500B2/D2, WPA080/A095A, WP0700/100DA/D4，WPA040-A075A

R5系列旋片泵包括：RA0010/0016C,RA0160-0302D, RA1000/1600B, RA0025/0040F, RA0165-0305D, RAH200/300A,RA0063/0100F, RA0400-0630C, RB0021C, RA0155A, RA0750A

贝克BECKER真空泵：VT4.4，VT4.8， VT4.10，VT4.16，VT4.25 ，VT4.40，KVT3.60，KVT3.80，KVT3.100，KVT3.140，VTLF200，VTLF250 ， VTLF360 ，VTLF400，VTLF500以及 2BV系列旋片真空泵

科威尔KOWEL真空泵：SS122， SS1200

里其乐RIETSCHLE真空泵：VWP系列罗茨泵，VSI系列螺杆真空泵

南昌专业注爱德华真空泵IXH3030T干泵维修及各类真空泵配件，并提供原厂真空泵维修保养服务！欢迎各界新老客户洽谈，我们将竭诚为您提供免费的技术指导与全套满意的维修服务支持。

爱德华真空泵IXH3030T干泵维修华南区正品销售商，部分型号现货供应，提供整机，配件，维修，维修包，技术指导，欢迎咨询。

克里斯托夫�6�1金，原名金翼，1987年留美，RPI金融管理博士，旅居美国硅谷。曾、正任斯坦福全球战略中心合伙人、哈佛投资战略决策研究员、极视智库全球战略专家、AG爱德华产业分析师、美中高端人才职业促进会会长、硅谷科技投资基金合伙人、西北理工大学商学院副院长、世界多所名校客座教授。主要著作《剑指华尔街》、《强世大博弈》、《反思中国》、《三国鼎立》等极视智库专家—— 克里斯托夫·金 (Christopher Jing, Ph.D.)，夏威夷大学工商管理硕士、伦斯勒理工学院金融管理博士、哈佛大学投资战略决策项目研究员，长期关注和从事金融投资与危机管理、高科技风险基金、跨国企业发展战略和高端职业教育。。　现任中美高端职业教育集团创始人、美中高端人才职业促进会会长、硅谷信息科技风险投资基金合伙人、中国培训财富网首席教育官；兼任斯坦福大学、东京大学、莫斯科大学、北京大学、浙江大学等客座教授、西北理工大学商学院副院长；国研-斯坦福论坛、国家外专局、谷歌、苹果、太阳、雅虎等特邀中国发展战略演讲嘉宾。曾任爱德华琼斯兄弟投资(AG Edwards &Sons)半导体和计算机产业分析师、爱德华琼斯(Edward Jones)投资组合经理、美国太空总署人工智能公司首席执行官。[1]目前担任极视智库全球战略思想家经历1987赴美留学；伦斯勒理工学院(RPI)金融管理博士、哈佛大学(HU)投资战略决策研究员；美中高端人才职业促进会会长、斯坦福战略中心合伙人、硅谷信息科技投资基金合伙人；斯坦福、东京、莫斯科、北京、清华、浙江等大学客座教授；曾任爱德华琼斯兄弟公司半导体和计算机资深产业分析师、爱德华琼斯投资组合经理、爱特克人工智能公司首席执行官。精强世战略、中国强国战略、金融投资与危机管理、高科技风险基金、跨国企业发展战略、中美日战略关系，擅歌唱、体 *** 、芭蕾、绘画。主要著作《剑指华尔街中国在行动》、《强世大博弈》和《反思中国》等。[2]

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