在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚

在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚,第1张

只是会增加热阻,你放东西进去加热效果会变得很差。当然如果你套得非常非常紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发生燃烧,石英坩埚因受热不均可能会导致出现裂缝 。石英坩埚可在1650度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单 石英坩埚晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。4.石英质脆,易破,使用时要注意。5.除Hf外,普通稀无机酸可用作清洗液。石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。

使用坩埚前需在干燥设备或炉旁热烘烤,烘烤温度由低到高徐徐升温,并不断翻动坩埚,让其均匀受热,排除坩埚体内的水分,预热温度逐步升到100-400上升温度要慢,400度—700度升温速度要快至少要升温到1000℃以上,至少8个小时这样把坩埚的潮气完全烤出,坩埚使用方法,坩埚厂提供,使坩埚在熔炼过程中不会出现问题。

坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。

当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

坩埚

坩埚是用极耐火的材料(如粘土、石墨、瓷土或较难熔化的金属)所制的器皿或熔化罐。

使用方法:

坩埚为一陶瓷深底的碗状容器。当有固体要以大火加热时,就必须使用坩埚。因为它比玻璃器皿更能承受高温。坩埚使用时通常会将坩埚盖斜放在坩埚上,以防止受热物跳出,并让空气能自由进出以进行可能的氧化反应。坩埚因其底部很小,一般需要架在泥三角上才能以火直接加热。坩埚在铁三角架上用正放或斜放皆可,视实验的需求可以自行安置。坩埚加热后不可立刻将其置于冷的金属桌面上,以避免它因急剧冷却而破裂。也不可立即放在木质桌面上,以避免烫坏桌面或是引起火灾。正确的作法为留置在铁三角架上自然冷却,或是放在石棉网上令其慢慢冷却。坩埚的取用请阅坩埚钳。

主要用途:

(1)溶液的蒸发、浓缩或结晶

(2)灼烧固体物质

使用注意事项:

(1)可直接受热,加热后不能骤冷,用坩埚钳取下

(2)坩埚受热时放在铁三角架上

(3)蒸发时要搅拌;将近蒸干时用余热蒸干

坩埚可分为石墨坩埚、粘土坩埚和金属坩埚三大类。

在石墨坩埚中,又有普型石墨坩埚与异型石墨坩埚及高纯石墨坩埚三种。各种类型的石墨坩埚,由于性能、用途和使用条件不同,所用的原料、生产方法、工艺技术和产品型号规格也都有所区别。

石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然右墨原有的各种理化特性。

即:具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。

坩埚的型号规格较多,在应用时不受生产规模、批量大小和熔炼物质品种的限制,可任意选择,适用性较强,并可保证被熔炼物质的纯度。

石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。

坩埚的种类大体分为三大类:第一类炼铜坩埚,其规格“号”,;第二类为炼铜合金坩埚,特圆形有100个号,圆形有100个号,第三种炼钢用的坩埚,有100个号。

坩埚规格(大小),通常是用顺序号大小表示的,1号坩埚具有能熔化1000g 黄铜的容积,其重量为180g。坩埚在熔炼不同金属或合金时熔化量计算,可以坩埚的容重规格号,乘上相应金属和合金系数。

坩埚的生产原料,可概括为三大类型。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火

粘土,三是经过煅烧的硬质高岭土类骨架熟料。近年来,开始采用耐高温的合成材料,如:碳化硅、氧化铝金刚砂及硅铁等做坩埚的骨架熟料。这种熟料对提高坩埚产品质量,增强坩埚密度和机械强度有着显著效果。

镍坩埚 适用于NaOH Na2O2、Na2CO3 NaHCO3以及含有有KNO3的碱性溶剂熔融样品,不适用于KHSO4或NaHS04、K2S2O7或Na2S2O7等酸性溶剂以及含硫的碱性硫化物熔剂熔融样品。

石英坩埚

1.石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。

3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。

4.石英质脆,易破,使用时要注意。

5.除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。

瓷坩埚

1.可耐热1200度左右

2.适用于K2S207等酸性物质熔融样品。

3.一般不能用于以Na0H、Na202、Na2CO3等碱性物质作熔剂熔融,以免腐蚀瓷坩埚。瓷坩埚不能和氢氟酸接触。

4.瓷坩埚一般可用稀HCl煮沸清洗涤

刚玉坩埚

1.刚玉坩埚是由多孔熔融氧化铝组成,质坚而耐熔。

2.刚玉坩埚适于用无水Na2C03等一些弱碱性物质作熔剂熔融样品,不适于用Na 202、NaOH等强碱性物质和酸性物质作熔剂(如K2S 207等)熔融样品。

泥三角

泥三角是灼烧时放置坩埚用的工具

泥三角由三根铁丝弯成,套有三截素烧瓷管,形如三角形而得名。它有大、小之分,视坩埚大小而选用。

1.用途:

以耐热陶瓷管和铁线缠绕而成的三角形支撑物,用来支撑坩埚以利加热。

2.使用方法:

泥三角因有耐热的陶瓷管包着因此可耐高温,而其中空的管柱内又有铁线穿过故可承受重量。当有需要用本生灯强热的物体时,通常都会将泥三角置于铁环上做为该物的支撑。最常见到的是在坩埚加热的实验中使用。

3.使用注意事项

(1)常与三脚架配合使用。

(2)不能强烈撞击,以免损坏瓷管。


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