EPI阻值,厚度，阻值均匀性，厚度均匀性与什么有关，并怎么控制

FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪

用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。

目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。·

发展中需进一步Setup者有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，STD的建立为整个量测之重点，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜。

目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳

棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这以过程可有计算机完成。

用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤：

1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图

2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光；

3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。

EPI（Expanded Programme on Immunization），也就是扩大免疫规划，其由来和发展如下：

70年代初期，世界卫生组织统计亚、非、拉丁美洲的发展中国家(不包括中国)，每年出生婴儿超过8000万，但是接受百日咳、白喉、破伤风、麻疹、脊髓灰质炎和结核免疫的儿童，还不到10%，而且多为突击性接种。因上述六种传染病每年要死亡500万儿童，同时还有500万儿童留下失明、瘫痪等后遗症。但是在经济发达的国家，由于广泛开展预防接种，已成功地降低了上述传染病的发病率与死亡率。

基于消灭天花和经济发达国家控制上述传染病的经验，1974年5月第27届世界卫生大会通过一项决议，要求各成员国《发展和坚持免疫方法与流行病监督计划，防止天花、白喉、百日咳、破伤风、麻疹、脊髓灰质炎、结核病等传染病》，正式开始提出扩大免疫规划(简称EPI)。大会还宣布，在民族平等的基础上，应与各国政府合作发展上述计划，要动员力量，保证接种质量和必需的物质设备，扩大教学与科研工作，以促使计划的实现。1976年、1977年，在第29、30届世界卫生大会上重申了这一计划的发展方向，而且要求世界卫生组织的其他计划方面，把EPI放在优先地位。1978年第31届世界卫生大会上，世界卫生组织总干事马勒博士在报告中提出，EPI的消灭天花计划和其他计划的延续，应与医疗卫生援助和妇幼保健计划相衔接。并提出EPI的近期和中期计划，即到1990年前，对世界范围内的所有儿童接种卡介苗、脊髓灰质炎疫苗、百白破混合制剂和麻疹疫苗，以降低相应疾病的发病率和死亡率。同时把干部培训，提高疫苗质量，加强组织管理作为实现该计划的中期目标。在这届大会上还通过成立全球EPI顾问小组的决议。同年9月，在原苏联阿拉木图召开的国际初级卫生保健会议上，强调EPI活动是妇幼卫生和初级卫生保健活动的内容之一，是到“2000年使人人享有卫生保健”全球战略目标的重要组成部分，写入阿拉木图宣言之中，并成为1979年联合国大会一致赞同的一项决议。我国于1981年正式参加全球EPI活动。�

1987年世界卫生组织把“免疫——每个儿童的一个机会”作为当年4月7日“世界卫生日”的主题。马勒总干事在“世界卫生祝词”中指出，当前全球的EPI活动正随着初级卫生保健的加强而不断发展，已取得一些显著成绩。在有儿童、疫苗、卫生人员三者相结合的国家，每年可拯救80万左右儿童免遭死亡。但在大多数发展中国家，百日咳、白喉、破伤风、麻疹、脊髓灰质炎和结核六种传染病仍是主要的公共卫生问题。他指出，在我们世界已拥有现代化技术的今天，成千上万的儿童却死于用疫苗可以预防的疾病，这种现象再也不能容忍了。要求使免疫接种对每一个儿童都是一次机会，把普及儿童免疫作为使人人享有卫生保健的里程碑。对此，人民群众通情达理的合作，各国家领导人坚定不移的信念，卫生人员专心致志的努力，父母双亲精心的关怀培育以及所需资金、器材的筹集，无一不是拯救世界儿童所需的一项综合性措施的组成部分。

目前全世界已有80%以上的国家和地区参加了EPI活动。全部发展中国家的免疫覆盖率正在迅速接近经济发达国家的水平，针对疾病的发病率也有了大幅度下降，每年减少100万儿童死于麻疹、新生儿破伤风和百日咳，预防了17万例以上脊髓灰质炎病例发生，全球的卫生工作取得了重大进展。�

我国政府历来十分重视儿童的预防保健工作，关心儿童的健康成长。建国初期制定了“预防为主”的卫生工作方针，在全国范围内普种牛痘苗，接着逐步扩大卡介苗、百白破制剂、小儿麻痹糖丸疫苗、麻疹疫苗和其他疫苗的大规模普种。60年代初期消灭了天花，其他相应传染病的发病率也逐年下降。1963年卫生部颁发了《预防接种实施办法》，一些地区开始从不定期接种逐步改变为有计划地接种。1978年和80年卫生部相继下发了《关于加强计划免疫工作的通知》和《预防接种工作实施办法》，接着于1982年10月召开了首次全国计划免疫工作会议，成立了卫生部医学科学委员会计划免疫专题委员会和六个区域性协作委员会，颁发了《全国计划免疫工作条例》、《1982—1990年全国计划免疫工作规划》和《计划免疫工作考核办法》，统一了全国的儿童免疫程序，明确了计划免疫工作的概念、内容、指标和方向。

1985年国家领导人在联合国有关文件签字对普及儿童免疫目标做了承诺，提出在“七五”期间分两步实现目标。为了加强计划免疫工作领导，1986年经国务院批准，成立了由卫生部、国家教委、全国妇联、广播电影电视部、对外经济贸易部、国家民族事务委员会等部门负责人参加的全国计划免疫工作协调小组，并确定每年4月25日为全国“儿童预防接种宣传日”。在联合国儿童基金会的赞助下，经过各级政府积极支持，全国范围内装备了冷链设备并投入正常运转，越来越多的儿童能及时得到有效的免疫接种。1989年和1991年，世界卫生组织、联合国儿童基金会协同我国卫生部先后两次在全国抽样审评，免疫接种率均如期达到规定目标。

目前，全国计划免疫工作正在围绕第三步目标进行，即1995年以乡镇为单位免疫接种率达到85%以上，基本消灭脊髓灰质炎。儿童获得免疫保护正在向制度化、规范化、法制化发展。

外延(Epitaxy, 简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料，外延层可以是同质外延层(Si/Si)，也可以是异质外延层(SiGe/Si 或SiC/Si等)；同样实现外延生长也有很多方法，包括分子束外延(MBE)，超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)，常压及减压外延(ATM RP Epi)等等。

所有的“外延生长”大同小异。

在适合的晶体底层上的单个晶体半导体薄膜的生长就是外延生长。底层通常是由和沉积的半导体同种物质的晶体组成，但也不总是这样。高质量的单晶硅薄膜已经可以在合成蓝宝石或尖晶石wafer上生长了，因为这些物质都有像硅一样可以让晶核生长的晶体结构。合成蓝宝石或尖晶石的成本超过同尺寸的硅wafer太多了，所以大多数外延生长沉积还是在硅底层上生长硅薄膜。

有几种不同的方法来生长外延（epi）层。一种比较粗糙的方法是把熔融的半导体物质注入底层上，经过一段时间后结晶，然后把多于的液体去除。然后wafer的表面可以重新研磨抛光形成外延层。很明显这个liquid-phase epitaxy的缺点是重新研磨的高成本和外延层厚度精确控制的难度。

大多数现代外延沉积使用低压化学气相沉积(LPCVD)外延生长。

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