半导体沟槽宽度

半导体沟槽宽度,第1张

半导体沟槽宽度

半导体沟槽宽度可以从几种角度来考虑,如材料类型、应用、制造工艺等。

1. 材料类型:半导体沟槽的宽度取决于所使用的半导体材料,不同的材料具有不同的物理性质,因此沟槽的宽度也不同。例如,硅沟槽的宽度可以达到几十纳米,而碳纳米管沟槽的宽度可以达到几百纳米。

2. 应用:半导体沟槽的宽度也取决于其应用。例如,用于高频电路的沟槽宽度要比用于低频电路的沟槽宽度小。

3. 制造工艺:半导体沟槽的宽度也取决于制造工艺,例如用于制造沟槽的光刻工艺,其最小的沟槽宽度可以达到几百纳米。

工作原理是:当栅极和源极间加正向电压时,在P-和栅极相邻的区域,形成垂直的沟道,电流从漏极流向源极时,同样的,电流垂直流过芯片内部。其结构特点为栅极的宽度远小于垂直导电的平面结构,具有更小的单元的尺寸和导通电阻。


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