半导体工艺废气如何高效处理？

√ 楼主您好，根据您提出的问题，下面为您做详细解答：

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物，分离和处理难度比较大。

半导体酸废气处理方法

半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

新材料行业半导体废气处理的方法

RTO蓄热式焚烧炉设备，简称“RTO设备”，是采用高温破坏焚烧的废气治理技术。采用的升温能源一般是电和天然气，虽然采用高温700℃的温度进行废气处理，但其实消耗的能源并不多，这是因为设备能够将热能回收利用，大大降低能量消耗的同时提高了废气分子的燃烧反应速率。设备的主体由燃烧室、陶瓷填料床和转换阀等构成。设备的净化效率也维持稳定在99%以上。

半导体行业废气处理方法以及对比

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。

希望此次回答对您有所帮助！

寻找更有效的冷却计算机的方法，几乎与渴望发现更好的电池化学成分一样，在科学家的研究日程中也处于重要位置。

更多的冷却手段对于降低成本至关重要。冷却技术也使得在较小的空间中可以进行更强大的处理，其有限的处理能力应该是进行计算而不是浪费热量。冷却技术可以阻止热量引起的故障，从而延长部件的使用寿命，并且可以促进环保的数据中心 —— 更少的热量意味着对环境的影响更小。

如何从微处理器中消除热量是科学家们一直在 探索 的一个方向，他们认为他们已经提出了一个简单而不寻常、且反直觉的解决方案。他们说可以运行一个发光二极管（LED）的变体，其电极反转可以迫使该元件表现得像处于异常低温下工作一样。如果将其置于较热的电子设备旁边，然后引入纳米级间隙，可以使 LED 吸收热量。

“一旦 LED 反向偏置，它就会像一个非常低温的物体一样，吸收光子，”密歇根大学机械工程教授埃德加·梅霍夫在宣布了这一突破的 新闻稿 中说。 “与此同时，该间隙可防止热量返回，从而产生冷却效果。”

研究人员表示，LED 和相邻的电子设备（在这种情况下是热量计，通常用于测量热能）必须非常接近。他们说他们已经能够证明达到了每平方米 6 瓦的冷却功率。他们解释说，这是差不多是地球表面所接受到的阳光的能量。

物联网（IoT）设备和智能手机可能是最终将受益于这种 LED 改造的电子产品。这两种设备都需要在更小的空间中容纳更多的计算功率。

“从微处理器中可以移除的热量开始限制在给定空间内容纳的功率，”密歇根大学的公告说。

我之前写过关于新形式的计算机冷却的文章 。源自材料科学的外来材料是正在 探索 的想法之一。美国能源部劳伦斯伯克利国家实验室表示，钠铋（Na3Bi）可用于晶体管设计。这种新物质带电荷，重要的是具有可调节性；但是，它不需要像超导体那样进行冷却。

事实上，这是超导体的一个问题。不幸的是，它们比大多数电子设备需要更多的冷却 —— 通过极端冷却消除电阻。

另外， 康斯坦茨大学的德国研究人员 表示他们很快将拥有超导体驱动的计算机，没有废热。他们计划使用电子自旋 —— 一种新的电子物理维度，可以提高效率。该大学去年在一份新闻稿中表示，这种方法“显著降低了计算中心的能耗”。

另一种减少热量的方法可能是用嵌入在微处理器上的 螺旋和回路来取代传统的散热器 。宾汉姆顿大学的科学家们表示，印在芯片上的微小通道可以为冷却剂提供单独的通道。

康斯坦茨大学说：“半导体技术的小型化正在接近其物理极限。”热管理现在被科学家提上了议事日程。这是“小型化的一大挑战”。

via: https://www.networkworld.com/article/3386876/running-leds-in-reverse-could-cool-computers.html#tk.rss_all

作者： Patrick Nelson 选题： lujun9972 译者： wxy 校对： wxy

---