一次性pe手套是否导电,是否可以在半导体上使用

一次性pe手套是否导电,是否可以在半导体上使用,第1张

一次性pe手套的主要成分是聚乙烯(pe就是聚乙烯的简写),虽然分分多种,但主要成分都是聚乙烯或者以其为主的化合成分,而聚乙烯点绝缘性优良,所以说一次性pe手套基本不导电。(我们平时做工艺的实验都是带这种)

物理气相沉积(PVD)是半导体芯片生产过程中最关键的工艺之一,其目的是把金 属或金属的化合物以薄膜的形式沉积到硅片或其他的基板上,并随后通过光刻与腐蚀等工 艺的配合,最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。物理气相沉积是通过溅射机台来完成 的,溅射钽环件就是用于上述工艺中的一个非常重要的关键耗材。溅射钽环件在半导体工艺中的主要作用有两点 第一约束溅射粒子的运动轨迹,起到聚焦的作用;

第二 吸附溅射过程中产生的大的颗粒物,起到净化的作用。由于溅射钽环件的特殊使用环境,其技术指标要求主要有 第一材料晶粒度在100— 300微米的范围内;

第二 表面滚花为8 OTPI凸出的菱形,既在一英寸范围内有8 O道花纹,滚花均匀, 表面无可视点;

第三凹型槽成型和环件组装满足图纸要求; 第四焊接依据AMS 2681A标准焊接,符合客户要求。第五酸洗、清洗符合应用材料提出的标准。由于上述技术要求导致溅射钽环件的加工难度增加。


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