液氨在半导体中的用途有哪些

液氨在半导体中的用途有哪些,第1张

液氨主要用于生产硝酸、尿素和其他化学肥料,还可用作医药和农药的原料。 工业级氨水在国防工业中,用于制造火箭、导d的推进剂。可用作有机化工产品的氨化原料,还可用作冷冻剂。工业级氨水还可用于纺织品的丝光整理。NH3分子中的孤电子对倾向于和别的分子或离子形成配位键,生成各种形式的氨合物。如[Ag(NH3)2]+、[Cu(NH3)4]2+、BF3·NH3等都是以NH3为配位的配合物。

在半导体工艺中,硫酸常用于去除光刻胶和配制洗液等。清洗中主要利用其强酸性、氧化性来解脱吸附在硅片表面的金属和无机物。浓硫酸不仅能与金属活动表中氢以前的金属作用,而且在加热条件下还能与金属活动表中氢以后的金属铜、汞、银等金属发生氧化还原反应。

如果有还原性物质,硫酸的氧化性就会下降,清洗不彻底吧


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