半导体芯片制造工工作内容是什么?

半导体芯片制造工工作内容是什么?,第1张

从事的工作主要包括:

(1)使用外延炉等设备,进行气体纯化、四氯化硅精馏,在单晶片上生长单晶层;

(2)使用高温炉,在半导体晶体表面制备氧化层,使杂质由晶片表面向内部扩散或进行其他热处理;

(3)使用离子注入设备,将掺杂材料的原子或分子电离加速到一定的能量注入到晶体,并退火激活;

(4)使用气相淀积设备,在衬底表面淀积一层固态薄膜;

(5)使用光刻机在半导体表面掩膜层上刻制图形;

(6)使用机械加工等设备,对晶片加工形成器件台面,并对表面作钝化保护;

(7)使用电镀设备,对晶片、半导体器件、集成电路、电级材料的某些部位进行镀覆。

下列工种归入本职业:

外延工,氧化扩散工,离子注入工,化学气相淀积工,光刻工,台面成型工,半导体器件、集成电路电镀工

主要是对硅晶片(Si

wafer)的一系列处理

1、清洗

->

2、在晶片上铺一层所需要的半导体

->

3、加上掩膜

->

4、把不要的部分腐蚀掉

->

5、清洗

重复2到5就可以得到所需要的芯片了

Cleaning

->

Deposition

->

Mask

Deposition

->

Etching

->

Cleaning

1、中的清洗过程中会用到硝酸,氢氟酸等酸,用于清洗有机物和无机物的污染

其中Deposition过程可能会用到多种器材,比如HELIOS等~

Mask

Deposition过程中需要很多器材,包括Spinner,Hot

plate,EVG等等~

根据材料不同或者需要的工艺精度不同,Etching也分很多器材,可以使用专门的液体做Wet

etch,或者用离子做Plasma

Etching等

最后一部的Cleaning一般是用Develpoer洗掉之前覆盖的掩模~

多数器材都是Oxford

Instruments出的

具体建议你去多看看相关的英文书,这里说不清楚。。


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原文地址: https://outofmemory.cn/dianzi/9180135.html

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