半导体EKC溶液化学名称

半导体EKC溶液化学名称,第1张

ekc是光阻液化学品。

光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。

光阻液种类: 光阻液分为正光阻及负光阻两种。

1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,形成容易溶于显影液的结构。

2. 负光阻: 曝光后形成不容易溶于显影液的结构。

半导体产业属于重污染企业。

首先是半导体工厂内会有大量的酸性气体(这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程)。其次,由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯等,其中苯是高毒性的一级致癌物。


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