化学试剂纯度分级UP级与MOS级的区别?

UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤,控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准

MOS级化学试剂是“金属-氧化物-半导体”(Metal-oxide-semiconductor)电路专用的特纯试剂的简称,是为适应大规模集成电路(LSI)的生产而出现的一个新的试剂门类.它属于生产金属氧化物半导体电路专用的化学品,是一种高纯试剂.其纯度要求单项金属离子杂质含 量均在10-7%~10-9%范围内.而更重要的是控制产品内微粒杂质（即尘埃和不溶颗粒）的个数,应当符合美国材料试验学会（ASTM）“0”级标准,即对5~10微米大小的颗粒,每100毫升中最大允许在2700个以下,而对5微米大小的颗粒,要求在304个以下.

电子级硫酸又称高纯度硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，是半导体工业常用的八大化学试剂之一。电子级硫酸广泛用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和刻蚀，可有效去除晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。