半导体企业电力建设的安全规范有哪些

半导体企业电力建设的安全规范有哪些,第1张

半导体企业电力建设的安全规范具体如下:

1、施工用电应按已批准的施工组织设计进行,并符合当地供电部门的有关规定。

2、施工用电设施应有设计并经有关部门审核批准方可施工,竣工后应经验收合格方可投入使用。

3、施工用电设施安装完毕后,应有完整的系统图、布置图等竣工资料,施工用电应明确治理机构并由专业班组负责运行及维护。

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗


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