STI是啥意思

STI是英文 Subaru Tecnica International 的简称，成立于1988年4月。 STI隶属于 日本富士重工责任有限公司（Fuji Heavy Industries Ltd，简称FHI），其作用是负责支援斯巴鲁（Subaru）参与的全球汽车赛事。其中“世界汽车拉力赛（World Rally Championship，WRC）”更加是STI的主要舞台。斯巴鲁WRX的比赛专用发动机，全部由STI组装及调校，然后再运送到其英国的赛车总部SWRT。

半导体器件中iso区是浅沟道隔离。能实现高密度的隔离，深亚微米器件和DRAM等高密度存储电路。在器件制作之前进行，热预算小，STI技术工艺步骤类似LOCOS，依次生长SiO2淀积Si3N4涂敷光刻胶，光刻去掉场区的SiO2和Si3N4。利用离子刻蚀在场区形成浅的沟槽。进行场区注入，再用CVD淀积SiO2填充沟槽，用化学机械抛光技术去掉表面的氧化层，使硅片表面平整化。工艺复杂，要回刻或者CMP。

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