矽谷简介及详细资料

矽谷简介及详细资料,第1张

地理范围

在地理上,矽谷起先仅包含圣塔克拉拉山谷(Santa Clara Valley) ,主要位于旧金山湾区南部的圣塔克拉拉县(Santa Clara County) ,包含该县下属的帕罗奥多市(Palo Alto)到县府圣何塞市(San Jose)一段长约25英里的谷地) 之后逐渐扩展到包含圣塔克拉拉县(Santa Clara County) 、西南旧金山湾区圣马特奥县(San Mateo County)的部分城市(比如门洛帕克)以及东旧金山湾区阿拉米达县(Alameda County)的部分城市(比如费利蒙)等地 。矽谷不是一个行政区划地名,在地图上一般不做标注。

矽谷这个词最早是由美国记者Don Hoefler在1971年创造的。它从1971年的1月11日开始被用于《每周商业》报纸电子新闻(Electronic News)的一系列文章的题目──"美国矽谷(Silicon Valley,USA)"。之所以名字当中有一个"矽"字,是因为当地的企业多数从事与由高纯度的矽制造的半导体及电脑相关的产业活动,而"谷"则是从圣塔克拉拉谷中得到的。而当时的矽谷就是旧金山湾区南端沿着101公路,从帕罗奥多市(Palo Alto)经山景城(Moutain View)、森尼韦尔(Sunnyvale) ,再经坎贝尔(Campbell)延伸到矽谷中心、圣塔克拉拉县的县府圣何塞市(San Jose)的这条狭长地带 。后来,位于旧金山湾两岸地区包括费利蒙市(Fremont)等地的加入使矽谷迅猛地发展起来。在开始的十几年时间里,由于记者的拼写错误它都被误称为"矽胶谷",因为矽谷这个词语还没有融合到美国文化中(矽胶是一种广泛用于隆胸和堵漏等作用的物质)。

历史沿革 重要时期

1.早期无线电和军事技术的基础

旧金山湾区在很早就是美国海军的研发基地。1909年,美国第一个有固定节目时间的广播电台在圣何塞诞生。1933年,森尼维尔 (Sunnyvale) 空军基地(后来改名为墨菲飞机场)成为美国海军飞艇的基地。在基地周围开始出现一些为海军服务的技术公司。二战后,海军将西海岸的业务移往加州南部的圣迭戈,国家航天委员会(美国航天局NASA 的前身)将墨菲飞机场 (Moffett Field) 的一部分用于航天方面的研究。为航天服务的公司开始出现,包括后来著名的洛克希德公司(Lockheed)。

2.斯坦福工业园 (Stanford Industrial Park)

二战结束后,美国的大学回流的学生骤增。为满足财务需求,同时给毕业生提供就业机会,史丹福大学采纳Frederick Terman的建议开辟工业园,允许高技术公司租用其地作为办公用地。最早入驻的公司是1930年代由斯坦福毕业生创办的瓦里安公司 (Varian Associates)。Terman 同时为民用技术的初创企业提供风险资本。惠普公司是最成功的例子之一。在1990年代中期,柯达公司和通用电气公司也在工业园驻有研究机构,斯坦福工业园逐步成为技术中心。

3.矽电晶体

1956年,电晶体的发明人威廉·肖克利(William Shockley) 在史丹福大学南边的山景城创立肖克利半导体实验室。1957年,肖克利决定停止对矽电晶体的研究。当时公司的八位工程师出走成立了仙童 (Fairchild) 半导体公司,称为"八叛逆"。"八叛逆"里的诺伊斯和摩尔后来创办了英特尔(Intel) 公司。在仙童工作过的人中,斯波克后来成为国民半导体公司的CEO,另一位桑德斯则创办了AMD公司。

4.风险资本 (Venture Capital)

从1972年第一家风险资本在紧挨斯坦福的 Sand Hill 路(风沙路)落户,风险资本极大促进了矽谷的成长。1980年苹果公司的上市吸引了更多风险资本来到矽谷。Sand Hill 在矽谷成为风险资本的代名词。

5.软体产业兴起

除了半导体工业,矽谷同时以软体产业和网际网路服务产业著称。施乐公司在Palo Alto的研究中心在OOP(面向对象的编程),GUI(图形界面),乙太网和雷射印表机等领域都有开创性的贡献。现今的许多著名企业都得益于施乐公司的研究,例如苹果和微软先后将 GUI 用于各自的作业系统,而思科公司的创立源自将众多网路协定在斯坦福校园网内自由传送的想法。

历史故事

当地一直是美国海军一个工作站点,并且海军的飞行研究基地也设于此,后来许多科技公司的商店都围绕着海军的研究基地而建立起来。但当海军把它大部分位于西海岸的工程项目转移到圣迭戈时,NASA接手了海军原来的工程项目,不过大部分的公司却留了下来,当新的公司又搬来之后,这个区域逐渐成为被航空航天企业聚集区。

那个时候,此地还没有民用高科技企业,虽然这里有很多好的大学,可是学生们毕业之后,他们却选择到东海岸去寻找工作机会。史丹福大学一个才华横溢的教授弗雷德·特曼(Frederick Emmons Terman)发现了这一点,于是他在学校里选择了一块很大的空地用于不动产的发展,并设立了一些方案来鼓励学生们在当地发展他们的"创业投资(venture capital)"事业。在Terman的指导下,他的两个学生威廉·休利特和David Packard在一间车库里凭著538美元建立了惠普公司(Hewlett-Packard)──一个跟NASA及美国海军没有任何关系的高科技公司。这车库现已经成为了矽谷发展的一个见证,被加州 *** 公布为矽谷发源地而成为重要的景点。

在1951年,Terman又有了一个更大的构想,那就是成立斯坦福研究园区(Stanford Research Park),这是第一个位于大学附近的高科技工业园区。园区里一些较小的工业建筑以低租金租给一些小的科技公司,今日,这些公司是重要的技术诞生地,可是在当时却并不为人所知。最开始的几年里只有几家公司安家于此,后来公司越来越多,他们不但套用大学最新的科技,同时又租用该校的土地,这些地租成为了史丹福大学的经济来源,使史丹福大学不断的兴旺发达。Terman在1950年代决定新的基础设施则应以"谷"为原则而建造。

正是在这种氛围下,一个著名的加利福尼亚人威廉·肖克利搬到了这里。威廉的这次搬家可以称得上是半导体工业的里程碑。1953年由于与同事的分歧而离开贝尔实验室。离婚之后孤身一人回到他获得科学学士学位的加州理工学院,在1956年他又搬到了距他母亲很近的加利福尼亚山景城(Mountain View)去建立肖克利半导体实验室。在这之前的时期,尚未成型的半导体工业主要集中在美国东部的波士顿和纽约长岛地区。为了公司的发展,他特意从东部召来八位年青人,这其中就有诺宜斯、戈登·摩尔 、斯波克、雷蒙德。

威廉·肖克利打算设计一种能够替代电晶体的元器件(熟知的肖克利二极体)来占领市场。但在考虑设计得比"简单的"电晶体还要简单的这个问题时他却难住了。被困难难住的肖克利愈发变得偏执,他要求对职员进行测谎,并公布他们的薪金,这些事情惹恼了大家。在1957年,那八位优秀的年轻人集体跳槽,并在一位工业家Sherman Fairchild的资助下成立了仙童半导体公司,仙童公司总部位于纽约市,主要经营照相机。

由于诺宜斯发明了积体电路技术,可以将多个电晶体安放于一片单晶矽片上,使得仙童公司平步青云。而1965年戈登·摩尔总结了积体电路上面的电晶体数量每18个月翻一番的规律 ,也就是人们熟知的"摩尔定律",这一定律虽然只是由1960年代的数据总结而成的,但是直到21世纪最初的那几年却依然有效。

这种事情又不断的上演,脱离控制的工程师不断的建立新的公司。1967年初,斯波克、雷蒙德等人决定离开仙童公司,自创国民半导体公司(National Semiconductor),总部位于圣克拉拉。而1968年仙童公司行销经理桑德斯的出走,又使世界上出现了超微科技(AMD)这家公司。同年七月,诺宜斯、戈登·摩尔 、安迪·葛洛夫 又离开仙童成立了英特尔公司。今天的英特尔公司是世界上最大的半导体积体电路厂商,占有80%的市场份额。

1981年对仙童公司来说就是恶梦的开始。这一年,设在圣何赛的晶片厂发生有毒溶液的泄漏,于是公司不得不花费1200万美元来更换土壤和监测水质。从此,公司开始走向下坡路,最终销声匿迹。但是人们不会忘记他在矽谷历史上所作出的贡献和对于开发单晶矽片的丰功伟绩,由仙童雇员所创建的公司在矽谷乃至全美国已超过百家。

区位因素 自然环境

地理位置优越环境优美气候宜人交通便利全世界的人才高地市场稳定创新环境和创新文化。

大学依托

矽谷是随着20世纪60年代中期以来,微电子技术高速发展而逐步形成的其特点是以附近一些具有雄厚科研力量的美国一流大学史丹福大学、加州大学伯克利分校等世界知名大学为依托 ,以高技术的中小公司群为基础,并拥有谷歌、Facebook、惠普、英特尔、苹果公司、思科、特斯拉、甲骨文、英伟达等大公司 ,融科学、技术、生产为一体。

位于矽谷附近的大学包括:

史丹福大学(Stanford University) 圣塔克拉拉大学(Santa Clara University) 圣何塞州立大学(San Jose State University) 卡内基梅隆大学西海岸校区(Carnegie Mellon University, West Coast Campus)

以下大学不位于矽谷内,而是有助于作为研究资源和新毕业生的来源:

伯克利加州大学(University of California, Berkeley) 戴维斯加州大学(University of California, Davis) 圣塔克鲁斯加州大学(University of California, Santa Cruz) 东湾州立大学(California State University, East Bay),原黑沃州立大学(California State University, Hayward) 产业特点

矽谷拥有大大小小电子工业公司达10000家以上,他们所生产的半导体积体电路和电子计算机约占全美1/3和1/6。80年代后,随着生物、空间、海洋、通讯、能源材料等新兴技术的研究机构在该地区纷纷出现,矽谷客观上成为美国高新技术的摇篮。矽谷已成为世界各国高科技聚集区的代名词。矽谷的产业特点包括:

●从业人员具有高水平的知识和技能,其中科学家和工程师占较大比例

●增长速度比传统工业快得多,并且处在不断的变化之中,产品更新换代的周期较短

●研究开发费用在销售额中占的比例较高

●产品面向世界市场。

●矽谷精神:允许失败的创新,崇尚竞争,平等开放!

天然优质的自然和社会因素,使得矽谷成为创业者的摇篮,高科技创业一片繁荣,下面是一些矽谷高科技创业最火的公司:

1.Crowdtilt :帮助聚餐的朋友们更方便的支付

2.Exec:帮助解决初创企业零活儿

3.Vayable:将改变你的旅行方式

4.Stripe:一种新型的企业支付方式

5.Postmates:让快递当天到达成为现实。

6.Getaround:刚刚获得一大笔融资

7.Parse:让创建一个新的套用更简便

8.Klout:人们仍旧一直在查看他们的Klout分数

9.Yardsale:本地线上电子商务

10.Path:有声照片分享套用

矽谷现状

2006年矽谷总共有225,300个高技术职位。以高技术从业人员的密度而论,矽谷居美国之首,每1000个在私营企业工作的人里有285.9人从事高科技业。高技术职位的平均年薪亦居美国之首,达到144800美元。2008年矽谷人均GDP达到83000美元,居全美第一。矽谷的GDP占美国总GDP的5%,而人口不到全国的1%。

矽谷是美国高科技人才的集中地,更是美国信息产业人才的集中地,在矽谷,集结著美国各地和世界各国的科技人员达100万以上,美国科学院院士在矽谷任职的就有近千人,获诺贝尔奖的科学家就达30多人。矽谷是美国青年心驰神往的圣地,也是世界各国留学生的竞技场和淘金场。在矽谷,一般公司都实行科学研究、技术开发和生产行销三位一体的经营机制,高学历的专业科技人员往往占公司员工的80%以上。矽谷的科技人员大都是来自世界各地的佼佼者,他们不仅母语和肤色不同,文化背景和生活习俗也各有所异,所学专业和特长也不一样。如此一批科技专家聚在一起,必然思维活跃,互相切磋中很容易迸发出创新的火花。矽谷高新技术公司的创立和资金投入方兴未艾,仍然呈现出发展的趋势,同时也是世界人才最集中的地区。

中国矽谷 深圳

深圳被公认为"中国矽谷",其城市的发展模型参照了美国旧金山湾区(也就是真正的矽谷的所在地)。 深圳专门设有深圳高新技术产业开发区、"中国电子第一街"华强北商业区,而总部位于深圳的著名高科技公司包括华为、中兴、腾讯、比亚迪、大疆、研祥等等。 深圳拥有的著名科研教育机构包括清华-伯克利深圳学院、南方科技大学、深圳先进技术研究院、香港中文大学(深圳)、深圳大学、国家超级计算深圳中心等等。

中关村

地理位置上是指由中国科学院和毗邻的北京大学,清华大学环抱而成的一个地区。1980年,这里办起了中国第一家IT公司。以后,中关村变成了我国高科技行业,特别是IT行业的代名词。在这个地区,科技,教育,文化与高新技术产业相连相互渗透。基础研究,套用研究,高新技术研究相互衔接。国际范畴的学术交流,商务往来以及经济合作日趋频繁。中关村具有发展知识经济的明显优势和巨大潜力,被誉为"矽谷"。

在中关村,共有5000人拥有博士学位,25000拥有硕士学位,180000人是学士学位。有超过8000家高科技公司,一半以上是IT产业公司。2012年中关村示范区实现总收入2.5万亿元,企业实缴税费达到1500亿元,企业从业人员达到156万人,企业利润总额1730亿元,实现出口230亿美元,企业科技活动经费支出超过900亿元。

印度矽谷

班加罗尔是印度南部城市,卡纳塔克邦的首府,印度第5大城市。印度在1947年独立以后,班加罗尔发展成重工业的中心。高科技公司在班加罗尔的成功建立使其成为印度信息科技的中心,俗称"印度矽谷"。

单晶矽片:矽的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶矽在单晶炉内拉制而成。

基本介绍中文名 :单晶矽片 外文名 :Monocrystalline silicon chip 类型 :矽的单晶体 功能 :良好的半导材料 用于 :制造半导体器件、太阳能电池 化学式 :Si 基本概念,结构,用途,市场前景,发展趋势,大直径化趋势明显,国际化,集团化,工业发展方向,制造技术升级,相关区别,单晶矽和多晶矽的区别,单晶矽,多晶矽及非晶矽太阳能电池的区别,加工工艺, 基本概念 单晶矽是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。 单晶矽可以用于二极体级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品积体电路和半导体分离器件已广泛套用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。 在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天,利用矽单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。北京2008年奥运会将把"绿色奥运"做为重要展示面向全世界展现,单晶矽的利用在其中将是非常重要的一环。现在,国外的太阳能光伏电站已经到了理论成熟阶段,正在向实际套用阶段过渡,太阳能矽单晶的利用将是普及到全世界范围,市场需求量不言而喻。 结构 熔融的单质矽在凝固时矽原子以金刚石晶格排列成三维空间长程有序的形式成为单晶矽。 单晶矽具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性。超纯的单晶矽是本征半导体。在超纯单晶矽中掺入微量的ⅢA 族元素,如硼可提高其导电的程度,而形成p型矽半导体;如掺入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高导电程度,形成n型矽半导体。 单晶矽的制法通常是先制得多晶矽或无定形矽,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶矽。单晶矽主要用于制作半导体元件。 矽 结晶型的矽是暗黑蓝色的,很脆,是典型的半导体。化学性质非常稳定。在常温下,除氟化氢以外,很难与其他物质发生反应。 用途 单晶矽片主要用于制作半导体元件。 单晶矽片太阳能组件 用途: 是制造半导体矽器件的原料,用于制大功率整流器、大功率电晶体、二极体、开关器件等 现在,我们的生活中处处可见“矽”的身影和作用,晶体矽太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。 熔融的单质矽在凝固时矽原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶矽。 单晶矽片的制法通常是先制得多晶矽或无定形矽,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶矽。 单晶矽棒是生产单晶矽片的原材料,随着国内和国际市场对单晶矽片需求量的快速增加,单晶矽棒的市场需求也呈快速增长的趋势。 单晶矽棒 单晶矽圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,所能刻制的积体电路越多,晶片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶矽按晶体生长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法生长单晶矽棒材,外延法生长单晶矽薄膜。直拉法生长的单晶矽主要用于半导体积体电路、二极体、外延片衬底、太阳能电池。目前晶体直径可控制在Φ3~8英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品,目前直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于积体电路领域。 单晶矽圆片 市场前景 近年来,中国单晶矽产量明显稳步增长,增长的原因是一方面来自国际上对低档和廉价矽材料需求的增加。另一方面是近年来中国装备制造发展迅速,各类信息家电和通信产品需求旺盛,因此半导体器件和矽材料的市场需求量都很大。 2007年,中国市场上有各类矽单晶生长设备1500余台,分布在70余家生产企业。2007年5月24日,国家“863”计画超大规模积体电路(IC)配套材料重大专项总体组在北京组织专家对西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”完成了验收。这标志著拥有自主智慧财产权的大尺寸积体电路与太阳能用矽单晶生长设备,在我国首次研制成功。这项产品使中国能够开发具有自主智慧财产权的关键制造技术与单晶炉生产设备,填补了国内空白,初步改变了在晶体生长设备领域研发制造受制于人的局面。 矽材料市场前景广阔,中国矽单晶的产量、销售收入近几年递增较快,以中小尺寸为主的矽片生产已成为国际公认的事实,为世界和中国积体电路、半导体分立器件和光伏太阳能电池产业的发展做出了较大的贡献。 发展趋势 矽片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高。日本、美国和德国是主要的矽材料生产国。国矽材料工业与日本同时起步,但总体而言,生产技术水平仍然相对较低,而且大部分为2.5、3、4、5英寸矽锭和小直径矽片。国消耗的大部分积体电路及其矽片仍然依赖进口。但我国科技人员正迎头赶上,于1998年成功地制造出了12英寸单晶矽,标志着我国单晶矽生产进入了新的发展时期。目前,全世界单晶矽的产能为1万吨/年,年消耗量约为6000吨~7000吨。未来几年,世界单晶矽材料发展将呈现以下发展趋势: 大直径化趋势明显 随着半导体材料技术的发展,对矽片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径矽片在市场的需求比例将日益加大。目前,矽片主流产品是200mm,逐渐向300mm过渡,研制水平达到400mm~450mm。据统计,200mm矽片的全球用量占60%左右,150mm占20%左右,其余占20%左右。Gartner发布的对矽片需求的5年预测表明,全球300mm矽片将从2000年的1.3%增加到2006年的21.1%。日、美、韩等国家都已经在1999年开始逐步扩大300mm矽片产量。据不完全统计,全球目前已建、在建和计画建的300mm矽器件生产线约有40余条,主要分布在美国和我国台湾等,仅我国台湾就有20多条生产线,其次是日、韩、新及欧洲。%P 世界半导体设备及材料协会(SEMI)的调查显示,2004年和2005年,在所有的矽片生产设备,投资在300mm生产线上的比例将分别为55%和62%,投资额也分别达到130.3亿美元和184.1亿美元,发展十分迅猛。而在1996年时,这一比重还仅仅是零。 国际化,集团化 研发及建厂成本的日渐增高,加上现有行销与品牌的优势,使得矽材料产业形成“大者恒大”的局面,少数集约化的大型集团公司垄断材料市场。上世纪90年代末,日本、德国和韩国(主要是日、德两国)资本控制的8大矽片公司的销量占世界矽片销量的90%以上。根据SEMI提供的2002年世界矽材料生产商的市场份额显示,Shisu、SUMCO、Wacker、MEMC、Komatsu等5家公司占市场总额的比重达到89%,垄断地位已经形成。 工业发展方向 随着光电子和通信产业的发展,矽基材料成为矽材料工业发展的重要方向。矽基材料是在常规矽材料上制作的,是常规矽材料的发展和延续,其器件工艺与矽工艺相容。主要的矽基材料包括SOI(绝缘体上矽)、GeSi和应力矽。目前SOI技术已开始在世界上被广泛使用,SOI材料约占整个半导体材料市场的30%左右,预计到2010年将占到50%左右的市场。Soitec公司(世界最大的SOI生产商)的2000年~2010年SOI市场预测以及2005年各尺寸SOI矽片比重预测了产业的发展前景。 制造技术升级 半导体,晶片,积体电路,设计,版图,晶片,制造,工艺目前世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。在日本,Φ200mm矽片已有50%采用线切割机进行切片,不但能提高矽片质量,而且可使切割损失减少10%。日本大型半导体厂家已经向300mm矽片转型,并向0.13μm以下的微细化发展。另外,最新尖端技术的导入,SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,矽片生产厂家也增加了对300mm矽片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化,还开发了高平坦度矽片和无缺陷矽片等,并对设备进行了改进。 矽是地壳赋存最高的固态元素,其含量为地壳的四分之一,但在自然界不存在单体矽,多呈氧化物或矽酸盐状态。矽的原子价主要为4价,其次为2价;在常温下它的化学性质稳定,不溶于单一的强酸,易溶于碱;在高温下化学性质活泼,能与许多元素化合。 矽材料资源丰富,又是无毒的单质半导体材料,较易制作大直径无位错低微缺陷单晶。晶体力学性能优越,易于实现产业化,仍将成为半导体的主体材料。 相关区别 单晶矽和多晶矽的区别 单晶矽和多晶矽的区别是,当熔融的单质矽凝固时,矽原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶矽。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶矽。多晶矽与单晶矽的差异主要表现在物理性质方面。例如在力学性质、电学性质等方面,多晶矽均不如单晶矽。多晶矽可作为拉制单晶矽的原料。单晶矽可算得上是世界上最纯净的物质了,一般的半导体器件要求矽的纯度六个9以上。大规模积体电路的要求更高,矽的纯度必须达到九个9。人们已经能制造出纯度为十二个9的单晶矽。单晶矽是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。 高纯度矽在石英中提取,以单晶矽为例,提炼要经过以下过程:石英砂一冶金级矽一提纯和精炼一沉积多晶矽锭一单晶矽一矽片切割。 冶金级矽的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的矽的纯度约98-99%,但半导体工业用矽还必须进行高度提纯(电子级多晶矽纯度要求11个9,太阳能电池级只要求6个9)。而在提纯过程中,有一项“三氯氢矽还原法(西门子法)”的关键技术我国还没有掌握,由于没有这项技术,我国在提炼过程中70%以上的多晶矽都通过氯气排放了,不仅提炼成本高,而且环境污染非常严重。我国每年都从石英石中提取大量的工业矽,以1美元/公斤的价格出口到德国、美国和日本等国,而这些国家把工业矽加工成高纯度的晶体矽材料,以46-80美元/公斤的价格卖给我国的太阳能企业。 得到高纯度的多晶矽后,还要在单晶炉中熔炼成单晶矽,以后切片后供积体电路制造等用。 单晶矽,多晶矽及非晶矽太阳能电池的区别 单晶矽太阳电池: 单晶矽太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池,它的构成和生产工艺已定型,产品已广泛用于宇宙空间和地面设施。这种太阳电池以高纯的单晶矽棒为原料,纯度要求99.999%。为了降低生产成本,现在地面套用的太阳电池等采用太阳能级的单晶矽棒,材料性能指标有所放宽。有的也可使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶矽材料,经过复拉制成太阳电池专用的单晶矽棒。将单晶矽棒切成片,一般片厚约0.3毫米。矽片经过成形、抛磨、清洗等工序,制成待加工的原料矽片。加工太阳电池片,首先要在矽片上掺杂和扩散,一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等。扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就在矽片上形成P/FONT>N结。然后采用丝网印刷法,将配好的银浆印在矽片上做成栅线,经过烧结,同时制成背电极,并在有栅线的面涂复减反射源,以防大量的光子被光滑的矽片表面反射掉,至此,单晶矽太阳电池的单体片就制成了。单体片经过抽查检验,即可按所需要的规格组装成太阳电池组件(太阳电池板),用串联和并联的方法构成一定的输出电压和电流,最后用框架和封装材料进行封装。用户根据系统设计,可将太阳电池组件组成各种大小不同的太阳电池方阵,亦称太阳电池阵列。目前单晶矽太阳电池的光电转换效率为15%左右,实验室成果也有20%以上的。用于宇宙空间站的还有高达50%以上的太阳能电池板 。 多晶矽太阳电池: 单晶矽太阳电池的生产需要消耗大量的高纯矽材料,而制造这些材料工艺复杂,电耗很大,在太阳电池生产总成本中己超二分之一,加之拉制的单晶矽棒呈圆柱状,切片制作太阳电池也是圆片,组成太阳能组件平面利用率低。因此,80年代以来,欧美一些国家投入了多晶矽太阳电池的研制。目前太阳电池使用的多晶矽材料,多半是含有大量单晶颗粒的集合体,或用废次单晶矽料和冶金级矽材料熔化浇铸而成。其工艺过程是选择电阻率为100~300欧姆·厘米的多晶块料或单晶矽头尾料,经破碎,用1:5的氢氟酸和硝酸混合液进行适当的腐蚀,然后用去离子水冲洗呈中性,并烘干。用石英坩埚装好多晶矽料,加人适量硼矽,放人浇铸炉,在真空状态中加热熔化。熔化后应保温约20分钟,然后注入石墨铸模中,待慢慢凝固冷却后,即得多晶矽锭。这种矽锭可铸成立方体,以便切片加工成方形太阳电池片,可提高材质利用率和方便组装。多晶矽太阳电池的制作工艺与单晶矽太阳电池差不多,其光电转换效率约12%左右,稍低于单晶矽太阳电池,但是材料制造简便,节约电耗,总的生产成本较低,因此得到大量发展。随着技术得提高,目前多晶矽的转换效率也可以达到14%左右 。 非晶矽太阳电池: 非晶矽太阳电池是1976年有出现的新型薄膜式太阳电池,它与单晶矽和多晶矽太阳电池的制作方法完全不同,矽材料消耗很少,电耗更低,非常吸引人。制造非晶矽太阳电池的方法有多种,最常见的是辉光放电法,还有反应溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法和热分解矽烷法等。辉光放电法是将一石英容器抽成真空,充入氢气或氩气稀释的矽烷,用射频电源加热,使矽烷电离,形成电浆。非晶矽膜就沉积在被加热的衬底上。若矽烷中掺人适量的氢化磷或氢化硼,即可得到N型或P型的非晶矽膜。衬底材料一般用玻璃或不锈钢板。这种制备非晶矽薄膜的工艺,主要取决于严格控制气压、流速和射频功率,对衬底的温度也很重要。非晶矽太阳电池的结构有各种不同,其中有一种较好的结构叫PiN电池,它是在衬底上先沉积一层掺磷的N型非晶矽,再沉积一层未掺杂的i层,然后再沉积一层掺硼的P型非晶矽,最后用电子束蒸发一层减反射膜,并蒸镀银电极。此种制作工艺,可以采用一连串沉积室,在生产中构成连续程式,以实现大批量生产。同时,非晶矽太阳电池很薄,可以制成叠层式,或采用积体电路的方法制造,在一个平面上,用适当的掩模工艺,一次制作多个串联电池,以获得较高的电压。因为普通晶体矽太阳电池单个只有0.5伏左右的电压,现在日本生产的非晶矽串联太阳电池可达2.4伏。目前非晶矽太阳电池存在的问题是光电转换效率偏低,国际先进水平为10%左右,且不够稳定,常有转换效率衰降的现象,所以尚未大量用于作大型太阳能电源,而多半用于弱光电源,如袖珍式电子计算器、电子钟表及复印机等方面。估计效率衰降问题克服后,非晶矽太阳电池将促进太阳能利用的大发展,因为它成本低,重量轻,套用更为方便,它可以与房屋的屋面结合构成住户的独立电源。 在猛烈阳光下,单晶体式太阳能电池板较非晶体式能够转化多一倍以上的太阳能为电能,但可惜单晶体式的价格比非晶体式的昂贵两三倍以上,而且在阴天的情况下非晶体式反而与晶体式能够收集到差不多一样多的太阳能。 加工工艺 加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长 (1)加料:将多晶矽原料及杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼,磷,锑,砷。 (2)熔化:加完多晶矽原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内,然后打开石墨加热器电源,加热至熔化温度(1420℃)以上,将多晶矽原料熔化。 (3)缩颈生长:当矽熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入矽熔体中。由于籽晶与矽熔体场接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升,使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角,只要缩颈够长,位错便能长出晶体表面,产生零位错的晶体。 (4)放肩生长:长完细颈之后,须降低温度与拉速,使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。 (5)等径生长:长完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不断调整,可使晶棒直径维持在正负2mm之间,这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶矽片取自于等径部分。 (6)尾部生长:在长完等径部分之后,如果立刻将晶棒与液面分开,那么热应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生,必须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。

矽的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶矽在单晶炉内拉制而成。

基本介绍中文名 :单晶矽 外文名 :Monocrystallinesilicon 化学式 : Si 分子量 :28.086 CAS登录号 :7440-21-3 基本概念,具体介绍,发展现状,半导体,物理特性,主要用途,研究趋势,概述,微型化,国际化,集团化,矽基材料,制造技术升级,加工工艺,市场发展,相关区别,单晶矽制备与仿真, 基本概念 单晶矽是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。 单晶矽可以用于二极体级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造,其后续产品积体电路和半导体分离器件已广泛套用于各个领域,在军事电子设备中也占有重要地位。 在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天,利用矽单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。北京2008年奥运会将把“绿色奥运”做为重要展示面向全世界展现,单晶矽的利用在其中将是非常重要的一环。现在,国外的太阳能光伏电站已经到了理论成熟阶段,正在向实际套用阶段过渡,太阳能矽单晶的利用将是普及到全世界范围,市场需求量不言而喻。 具体介绍 我们的生活中处处可见“矽”的身影和作用,晶体矽太阳能电池是近15年来形成产业化最快的。 单晶矽,英文,Monocrystallinesilicon。是矽的单晶体。具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%,甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶矽在单晶炉内拉制而成。 用途:单晶矽具有金刚石晶格,晶体硬而脆,具有金属光泽,能导电,但导电率不及金属,且随着温度升高而增加,具有半导体性质。单晶矽是重要的半导体材料。在单晶矽中掺入微量的第IIIA族元素,形成P型半导体,掺入微量的第VA族元素,形成N型,N型和P型半导体结合在一起,就可做成太阳能电池,将辐射能转变为电能。 单晶矽是制造半导体矽器件的原料,用于制大功率整流器、大功率电晶体、二极体、开关器件等。在开发能源方面是一种很有前途的材料。 单晶矽按晶体生长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法生长单晶矽棒材,外延法生长单晶矽薄膜。直拉法生长的单晶矽主要用于半导体积体电路、二极体、外延片衬底、太阳能电池。 发展现状 单晶矽建设项目具有巨大的市场和广阔的发展空间。在地壳中含量达25.8%的矽元素,为单晶矽的生产提供了取之不尽的源泉。 各种晶体材料,特别是以单晶矽为代表的高科技附加值材料及其相关高技术产业的发展,成为当代信息技术产业的支柱,并使信息产业成为全球经济发展中增长最快的先导产业。单晶矽作为一种极具潜能,亟待开发利用的高科技资源,正引起越来越多的关注和重视。 与此同时,鉴于常规能源供给的有限性和环保压力的增加,世界上许多国家正掀起开发利用太阳能的热潮并成为各国制定可持续发展战略的重要内容。 在跨入21世纪门槛后,世界大多数国家踊跃参与以至在全球范围掀起了太阳能开发利用的“绿色能源热”,各国相继研发太阳能光伏系统,把太阳能发电终端,所产生的电能输送到电网,用电网使用。一个广泛的大规模的利用太阳能的时代正在来临,太阳能级单晶矽产品也将因此受世人瞩目。 半导体 非晶矽是一种直接能带半导体,它的结构内部有许多所谓的“悬键”,也就是没有和周围的矽原子成键的电子,这些电子在电场作用下就可以产生电流,并不需要声子的帮助,因而非晶矽可以做得很薄,还有制作成本低的优点. 物理特性 矽是地球上储藏最丰富的材料之一,从19世纪科学家们发现了晶体矽的半导体特性后,它几乎改变了一切,甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始,矽材料就取代了原有锗材料。矽材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件的特性而成为套用最多的一种半导体材料,积体电路半导体器件大多数是用矽材料制造的。 熔融的单质矽在凝固时矽原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶矽。单晶矽具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性。超纯的单晶矽是本征半导体。在超纯单晶矽中掺入微量的ⅢA族元素,如硼可提高其导电的程度,而形成p型矽半导体;如掺入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高导电程度,形成n型矽半导体。 单晶矽 主要用途 单晶矽主要用于制作半导体元件。 用途: 是制造半导体矽器件的原料,用于制大功率整流器、大功率电晶体、二极体、开关器件等 熔融的单质矽在凝固时矽原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶矽。 单晶矽的制法通常是先制得多晶矽或无定形矽,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶矽。 单晶矽棒是生产单晶矽片的原材料,随着国内和国际市场对单晶矽片需求量的快速增加,单晶矽棒的市场需求也呈快速增长的趋势。 单晶矽圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,所能刻制的积体电路越多,晶片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶矽按晶体伸长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法伸长单晶矽棒材,外延法伸长单晶矽薄膜。直拉法伸长的单晶矽主要用于半导体积体电路、二极体、外延片衬底、太阳能电池。晶体直径可控制在Φ3~8英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。晶体直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于积体电路领域。 由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶矽材料套用最广。在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latch-up的能力。 矽片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高。 研究趋势 概述 日本、美国和德国是主要的矽材料生产国。中国矽材料工业与日本同时起步,但总体而言,生产技术水平仍然相对较低,而且大部分为2.5.3.4.5英寸矽锭和小直径矽片。中国消耗的大部分积体电路及其矽片仍然依赖进口。但我国科技人员正迎头赶上,于1998年成功地制造出了12英寸单晶矽,标志着我国单晶矽生产进入了新的发展时期。全世界单晶矽的产能为1万吨/年,年消耗量约为6000吨~7000吨。未来几年中,世界单晶矽材料发展将呈现以下发展趋势: 微型化 随着半导体材料技术的发展,对矽片的规格和质量也提出更高的要求,适合微细加工的大直径矽片在市场中的需求比例将日益加大。矽片主流产品是200mm,逐渐向300mm过渡,研制水平达到400mm~450mm。据统计,200mm矽片的全球用量占60%左右,150mm占20%左右,其余占20%左右。Gartner发布的对矽片需求的5年预测表明,全球300mm矽片将从2000年的1.3%增加到2006年的21.1%。日、美、韩等国家都已经在1999年开始逐步扩大300mm矽片产量。据不完全统计,全球已建、在建和计画建的300mm矽器件生产线约有40余条,主要分布在美国和我国台湾等,仅我国台湾就有20多条生产线,其次是日、韩、新及欧洲。%P 世界半导体设备及材料协会(SEMI)的调查显示,2004年和2005年,在所有的矽片生产设备中,投资在300mm生产线上的比例将分别为55%和62%,投资额也分别达到130.3亿美元和184.1亿美元,发展十分迅猛。而在1996年时,这一比重还仅仅是零。 国际化,集团化 研发及建厂成本的日渐增高,加上现有行销与品牌的优势,使得矽材料产业形成“大者恒大”的局面,少数集约化的大型集团公司垄断材料市场。上世纪90年代末,日本、德国和韩国(主要是日、德两国)资本控制的8大矽片公司的销量占世界矽片销量的90%以上。根据SEMI提供的2002年世界矽材料生产商的市场份额显示,Shisu、SUMCO、Wacker、MEMC、Komatsu等5家公司占市场总额的比重达到89%,垄断地位已经形成。 矽基材料 随着光电子和通信产业的发展,矽基材料成为矽材料工业发展的重要方向。矽基材料是在常规矽材料上制作的,是常规矽材料的发展和延续,其器件工艺与矽工艺相容。主要的矽基材料包括SOI(绝缘体上矽)、GeSi和应力矽。SOI技术已开始在世界上被广泛使用,SOI材料约占整个半导体材料市场的30%左右,预计到2010年将占到50%左右的市场。Soitec公司(世界最大的SOI生产商)的2000年~2010年SOI市场预测以及2005年各尺寸SOI矽片比重预测了产业的发展前景。 制造技术升级 半导体,晶片积体电路,设计版图,晶片制造,工艺世界普遍采用先进的切、磨、抛和洁净封装工艺,使制片技术取得明显进展。在日本,Φ200mm矽片已有50%采用线切割机进行切片,不但能提高矽片质量,而且可使切割损失减少10%。日本大型半导体厂家已经向300mm矽片转型,并向0.13μm以下的微细化发展。另外,最新尖端技术的导入,SOI等高功能晶片的试制开发也进入批量生产阶段。对此,矽片生产厂家也增加了对300mm矽片的设备投资,针对设计规则的进一步微细化,还开发了高平坦度矽片和无缺陷矽片等,并对设备进行了改进。 矽是地壳中赋存最高的固态元素,其含量为地壳的四分之一,但在自然界不存在单体矽,多呈氧化物或矽酸盐状态。矽的原子价主要为4价,其次为2价;在常温下它的化学性质稳定,不溶于单一的强酸,易溶于碱;在高温下化学性质活泼,能与许多元素化合。 矽材料资源丰富,又是无毒的单质半导体材料,较易制作大直径无位错低微缺陷单晶。晶体力学性能优越,易于实现产业化,仍将成为半导体的主体材料。 多晶矽材料是以工业矽为原料经一系列的物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料,是矽产品产业链中的一个极为重要的中间产品,是制造矽抛光片、太阳能电池及高纯矽制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料。 加工工艺 加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长 (1)加料:将多晶矽原料及杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼,磷,锑,砷。 (2)熔化:加完多晶矽原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内,然后打开石墨加热器电源,加热至熔化温度(1420℃)以上,将多晶矽原料熔化。 (3)缩颈生长:当矽熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入矽熔体中。由于籽晶与矽熔体场接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升,使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角,只要缩颈够长,位错便能长出晶体表面,产生零位错的晶体。 (4)放肩生长:长完细颈之后,须降低温度与拉速,使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。 (5)等径生长:长完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不断调整,可使晶棒直径维持在正负2mm之间,这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶矽片取自于等径部分。 (6)尾部生长:在长完等径部分之后,如果立刻将晶棒与液面分开,那么热应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生,必须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。 市场发展 2007年,中国市场上有各类矽单晶生产设备1500余台,分布在70余家生产企业。2007年5月24日,国家“863”计画超大规模积体电路(IC)配套材料重大专项总体组在北京组织专家对西安理工大学和北京有色金属研究总院承担的“TDR-150型单晶炉(12英寸MCZ综合系统)”完成了验收。这标志著拥有自主智慧财产权的大尺寸积体电路与太阳能用矽单晶生长设备,在我国首次研制成功。这项产品使中国能够开发具有自主智慧财产权的关键制造技术与单晶炉生产设备,填补了国内空白,初步改变了在晶体生长设备领域研发制造受制于人的局面。 矽材料市场前景广阔,中国矽单晶的产量、销售收入近几年递增较快,以中小尺寸为主的矽片生产已成为国际公认的事实,为世界和中国积体电路、半导体分立器件和光伏太阳能电池产业的发展做出了较大的贡献。 相关区别 单晶矽和多晶矽的区别 单晶矽和多晶矽的区别是,当熔融的单质矽凝固时,矽原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶矽。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶矽。多晶矽与单晶矽的差异主要表现在物理性质方面。例如在力学性质、电学性质等方面,多晶矽均不如单晶矽。多晶矽可作为拉制单晶矽的原料。单晶矽可算得上是世界上最纯净的物质了,一般的半导体器件要求矽的纯度六个9以上。大规模积体电路的要求更高,矽的纯度必须达到九个9。人们已经能制造出纯度为十二个9的单晶矽。单晶矽是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。 高纯度矽在石英中提取,以单晶矽为例,提炼要经过以下过程:石英砂一冶金级矽一提纯和精炼一沉积多晶矽锭一单晶矽一矽片切割。 冶金级矽的提炼并不难。它的制备主要是在电弧炉中用碳还原石英砂而成。这样被还原出来的矽的纯度约98-99%,但半导体工业用矽还必须进行高度提纯(电子级多晶矽纯度要求11个9,太阳能电池级只要求6个9)。而在提纯过程中,有一项“三氯氢矽还原法(西门子法)”的关键技术我国还没有掌握,由于没有这项技术,我国在提炼过程中70%以上的多晶矽都通过氯气排放了,不仅提炼成本高,而且环境污染非常严重。我国每年都从石英石中提取大量的工业矽,以1美元/公斤的价格出口到德国、美国和日本等国,而这些国家把工业矽加工成高纯度的晶体矽材料,以46-80美元/公斤的价格卖给我国的太阳能企业。 得到高纯度的多晶矽后,还要在单晶炉中熔炼成单晶矽,以后切片后供积体电路制造等用。 单晶矽 , 多晶矽及非晶矽太阳能电池的区别 单晶矽太阳电池: 单晶矽太阳电池是当前开发得最快的一种太阳电池,它的构成和生产工艺已定型,产品已广泛用于宇宙空间和地面设施。这种太阳电池以高纯的单晶矽棒为原料,纯度要求99.999%。为了降低生产成本,现在地面套用的太阳电池等采用太阳能级的单晶矽棒,材料性能指标有所放宽。有的也可使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶矽材料,经过复拉制成太阳电池专用的单晶矽棒。将单晶矽棒切成片,一般片厚约0.3毫米。矽片经过成形、抛磨、清洗等工序,制成待加工的原料矽片。加工太阳电池片,首先要在矽片上掺杂和扩散,一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等。扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就在矽片上形成P/FONT>N结。然后采用丝网印刷法,将配好的银浆印在矽片上做成栅线,经过烧结,同时制成背电极,并在有栅线的面涂覆减反射源,以防大量的光子被光滑的矽片表面反射掉,至此,单晶矽太阳电池的单体片就制成了。单体片经过抽查检验,即可按所需要的规格组装成太阳电池组件(太阳电池板),用串联和并联的方法构成一定的输出电压和电流,最后用框架和封装材料进行封装。用户根据系统设计,可将太阳电池组件组成各种大小不同的太阳电池方阵,亦称太阳电池阵列。目前单晶矽太阳电池的光电转换效率为15%左右,实验室成果也有20%以上的。用于宇宙空间站的还有高达50%以上的太阳能电池板。 多晶矽太阳电池: 单晶矽太阳电池的生产需要消耗大量的高纯矽材料,而制造这些材料工艺复杂,电耗很大,在太阳电池生产总成本中己超二分之一,加之拉制的单晶矽棒呈圆柱状,切片制作太阳电池也是圆片,组成太阳能组件平面利用率低。因此,80年代以来,欧美一些国家投入了多晶矽太阳电池的研制。目前太阳电池使用的多晶矽材料,多半是含有大量单晶颗粒的集合体,或用废次单晶矽料和冶金级矽材料熔化浇铸而成。其工艺过程是选择电阻率为100~300欧姆·厘米的多晶块料或单晶矽头尾料,经破碎,用1:5的氢氟酸和硝酸混合液进行适当的腐蚀,然后用去离子水冲洗呈中性,并烘干。用石英坩埚装好多晶矽料,加人适量硼矽,放人浇铸炉,在真空状态中加热熔化。熔化后应保温约20分钟,然后注入石墨铸模中,待慢慢凝固冷却后,即得多晶矽锭。这种矽锭可铸成立方体,以便切片加工成方形太阳电池片,可提高材质利用率和方便组装。多晶矽太阳电池的制作工艺与单晶矽太阳电池差不多,其光电转换效率约12%左右,稍低于单晶矽太阳电池,但是材料制造简便,节约电耗,总的生产成本较低,因此得到大量发展。随着技术得提高,目前多晶矽的转换效率也可以达到14%左右。 非晶矽太阳电池: 非晶矽太阳电池是1976年有出现的新型薄膜式太阳电池,它与单晶矽和多晶矽太阳电池的制作方法完全不同,矽材料消耗很少,电耗更低,非常吸引人。制造非晶矽太阳电池的方法有多种,最常见的是辉光放电法,还有反应溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法和热分解矽烷法等。辉光放电法是将一石英容器抽成真空,充入氢气或氩气稀释的矽烷,用射频电源加热,使矽烷电离,形成电浆。非晶矽膜就沉积在被加热的衬底上。若矽烷中掺人适量的氢化磷或氢化硼,即可得到N型或P型的非晶矽膜。衬底材料一般用玻璃或不锈钢板。这种制备非晶矽薄膜的工艺,主要取决于严格控制气压、流速和射频功率,对衬底的温度也很重要。非晶矽太阳电池的结构有各种不同,其中有一种较好的结构叫PiN电池,它是在衬底上先沉积一层掺磷的N型非晶矽,再沉积一层未掺杂的i层,然后再沉积一层掺硼的P型非晶矽,最后用电子束蒸发一层减反射膜,并蒸镀银电极。此种制作工艺,可以采用一连串沉积室,在生产中构成连续程式,以实现大批量生产。同时,非晶矽太阳电池很薄,可以制成叠层式,或采用积体电路的方法制造,在一个平面上,用适当的掩模工艺,一次制作多个串联电池,以获得较高的电压。因为普通晶体矽太阳电池单个只有0.5伏左右的电压,现在日本生产的非晶矽串联太阳电池可达2.4伏。目前非晶矽太阳电池存在的问题是光电转换效率偏低,国际先进水平为10%左右,且不够稳定,常有转换效率衰降的现象,所以尚未大量用于作大型太阳能电源,而多半用于弱光电源,如袖珍式电子计算器、电子钟表及复印机等方面。估计效率衰降问题克服后,非晶矽太阳电池将促进太阳能利用的大发展,因为它成本低,重量轻,套用更为方便,它可以与房屋的屋面结合构成住户的独立电源。 在猛烈阳光下,单晶体式太阳能电池板较非晶体式能够转化多一倍以上的太阳能为电能,但可惜单晶体式的价格比非晶体式的昂贵两三倍以上,而且在阴天的情况下非晶体式反而与晶体式能够收集到差不多一样多的太阳能。 单晶矽制备与仿真 主要有两种方法:直拉法(Cz法)、区熔法(FZ法); 1)直拉法 其优点是晶体被拉出液面不与器壁接触,不受容器限制,因此晶体中应力小,同时又能防止器壁沾污或接触所可能引起的杂乱晶核而形成多晶。此法制成的单晶完整性好,直径和长度都可以很大,生长速率也高。所用坩埚必须由不污染熔体的材料制成。因此,一些化学性活泼或熔点极高的材料,由于没有合适的坩埚,而不能用此法制备单晶体,而要改用区熔法晶体生长或其他方法。 2)区熔法 区熔法可用于制备单晶和提纯材料,还可得到均匀的杂质分布。这种技术可用于生产纯度很高的半导体、金属、合金、无机和有机化合物晶体。在区熔法制备矽单晶中,往往是将区熔提纯与制备单晶结合在一起,能生长出质量较好的中高阻矽单晶。区熔单晶炉主要包括:双层水冷炉室、长方形钢化玻璃观察窗、上轴(夹多晶棒)、下轴(安放籽晶)、导轨、机械传送装置、基座、高频发生器和高频加热线圈、系统控制柜真空系统及气体供给控制系统等组成。 可以看出,制备单晶矽的工艺要求非常苛刻,包括设备、温度控制、转速等各种影响因素。因此在前期必须做好设备设计如单晶炉和温控包括炉内的热场、流场,以及缺陷预测。一般来说,前期的设计、最佳化和预测并不能完全依靠高成本的实验来实现。可以通过专业的计算机数值仿真工具来实现晶体生长数值模拟,如FEMAG的FEMAG/CZ模组能能对直拉法(Cz法)进行模拟、FEMAG/FZ模组能对区熔法(FZ法)模拟,还有CGSIM等,以达到对单晶矽制备工艺的预测。


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