无尘鞋通常用在对环境清洁程度要求非常高的行业,如医疗器械、半导体、实验室等等,这些环境往往是千级、百级的,尘埃物质非常少。而人本身是发尘物,人体分泌物会引起尘埃颗粒的滋生,如果不穿无尘鞋,人体的尘埃颗粒就会影响环境的洁净程度,从而影响产品的质量。
(百美科)防静电鞋、服都是为了减少静电积累,并让人体静电导入大地。如果你一直坐在工作台前 *** 作,防静电服可以较好的防护,但你还有很多时间是不在工作台前,你要移动,如果没有防静电鞋,你就会产生很多的静电。如果你的身体防护进厂区时综合测试仪测试还有效,在生产过程中防静电服失效(弯折寿命、接地线接触不良等),那你每接触到一个电子元件都可能损坏损伤它,对电子元件造成巨大的损害,为什么无尘车间要穿防静电鞋及其配套产品的原因。无尘服的配套工鞋。芯片洁净车间要求:
1、内部要保持大于一大气压的环境,以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机,将经滤网的空气源源不绝地打入洁净室中。
2、为保持温度与湿度的恒定,大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之,鼓风机加压多久,冷气空调也开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主,尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配,使粉尘在洁净室内回旋停滞的机会与时间减至低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、人事物进出,都须经过空气吹浴 (air shower) 的程序,将表面粉尘先行去除。
6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源,为此务必严格要求进出使用人员穿戴无尘衣,除了眼睛部位外,均需与外界隔绝接触 (在次微米制程技术的工厂内,工作人员几乎穿戴得像航天员一样。
7、除了空气外,水的使用也只能限用去离子水 (DI water, de-ionized water)。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子,如钾、钠离子污染金氧半 (MOS) 晶体管结构之带电载子信道 (carrier channel),影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率 (resistively) 来定义好坏,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线**等重重关卡,才能放行使用。由于去离子水是佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业之使用量惊人!
8、洁净室所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98%),吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮!
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