在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚

在做半导体时石英坩埚为什么要套上石墨坩埚,第1张

只是会增加热阻,你放东西进去加热效果会变得很差。当然如果你套得非常非常紧的话,加热后石墨坩埚可能会裂开。石墨坩埚会在酒精灯上发生燃烧,石英坩埚因受热不均可能会导致出现裂缝 。石英坩埚可在1650度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单 石英坩埚晶硅,是发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐反应。3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。4.石英质脆,易破,使用时要注意。5.除Hf外,普通稀无机酸可用作清洗液。石墨坩埚的主体原料,是结晶形天然石墨。故它保持着天然石墨原有的各种理化特性。石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性,在高温使用过程中,热膨胀系数小,对急热、急冷具有一定抗应变性能。对酸,碱性溶液的抗腐蚀性较强,具有优良的化学稳定性。石墨坩埚,因具有以上优良的性能,所以在冶金、铸造、机械、化工等工业部门,被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼。并有着较好的技术经济效果。

1.石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。 2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。 3.石英坩埚适于用K2S2O7,KHSO4作熔剂熔融样品和用Na2S207(先在212度烘干)作熔剂处理样品。 4.石英质脆,易破,使用时要注意。 5.除HF外, 石英玻璃坩埚普通稀无机酸可用作清洗液。 国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。 目前坩埚生产涂层技术已被大多数厂家使用就是在普通石英砂溶制的坩埚表面涂上一层高纯度石英砂使其形成致密层,其致密层能阻止单晶硅高温拉制过程中硅与石英坩埚反应提高成晶率。

高,石英坩埚,是一种应用于光伏和半导体领域,可支持光伏和半导体用户高温条件下连续拉晶(属于硅片生产环节),用来装放多晶硅原料或单晶回收料的消耗性石英器件。生产与销售石英坩埚是欧晶科技的第二大主营业务,TCL中环及其关联方向欧晶科技的采购金额占其同类采购总额比例高达50%左右。

隆众资讯光伏分析师方文正告诉《中国经营报》记者,石英坩埚的制造门槛并不算太高,欧晶科技与早期参股方TCL中环建立了长期亲密合作关系,目前占据了较高市场份额。另外,欧晶科技的一个重要竞争优势在于自身与上游高纯石英砂原料供应商达成长期战略合作,能够保证原料的稳定供应与品质。


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