1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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为了统一洁净室的空气洁净度等级、各类技术要求，世界各国都陆续制定了各自的洁净室标准，著名的美国之音FS209标准便是从1963年开始制定发布实施的，到1992年已从209A不断修改变化为。

洁净室标准是源于各类产品生产工艺技术、产品性能的不断研究开发、升级和各种使用要求，对空气洁净度及污染物的控制要求不断变化、提高，尤其是半导体集成电路的高速发民是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志；洁净室标准也源于洁净技术的研究开发和发展。

因此洁净室标准的实施，对洁净室的设计建造和运行具有重要性、实用性，它的统一技术要求，严格的技术条件规定，统一的检测方法以及明确、严格的安全技术规范，都已成为建设洁净室工程的主要依据。

扩展资料：

（1）在<电子工业洁净厂房设计规范〉GB50472中有关生产环境的要求的规定主要有：电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。

（2）各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定。

（3）单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应在于65DB，非单向流洁净室的噪声级（空态）不应大于60DB

（4）药品生产有关工序和环境区域的空气洁净度等级，应符合国家现行（药品生产质量管理规范）

（5）医药洁净室的温度和湿度，应符合下列规定

生产式工艺对温度和湿度无特殊要求时，空气洁净度100、10000级的医药洁净室温度应为20-24度，相对湿度应为45%-60%空气洁净度100000级、300000级的医药洁净室温度为18-26度，相对湿度应为45%-65%。

生产工艺对温度和湿度有特殊要求时，应根据工艺要求确定。

人员净化及生活用室的温度，冬季应为16-20度，夏季应为26-30度。

参考资料来源：百度百科-洁净室工程装修标准

参考资料来源：百度百科-洁净室

净化标准：

净化工程普遍采用美国联邦209标准。具体分为十万级、万级、千级、百级、十级、一级。万级应用最普遍。在百级净化环境下，可满足国内最尖端的实验要求，可以生产精密电子元器件，可以做复杂的开颅手术。但施工难度较大，造价较高。我们以千级净化室为例，谈一下施工方法和具体工艺设计要求。

净化管道要求

净化室根据用途决定净化等级，根据需要调节净化室温度、湿度、换气次数。温度可由不锈钢管道调节，也可用净化室专用空调调节。湿度根据具体工艺要求，采用专用设备调节。根据不同的净化要求，我们采用的施工材料、施工工艺都有所不同。千级净化室，必须采用不锈钢钢板做保温隔离。钢板接缝处不能有轻微的变形。千级净化室的隔离钢板，目前需到北京、上海等地采购。净化管道可采用不锈钢管道，镀锌管道。管道外部要做保温处理。管道施工前，管道内部洁净处理十分重要，不能等到全部管道安装完毕在做洁净处理。这是施工关键所在。很多工程无法验收合格于此相关，应特别注意。管道的设计与净化室的大小相关，与送风量大小相关，与净化要求相关。净化空调的大小，风量大小，在具体的施工过程中根据需要调节。由于环境不同，地理位置不同，施工工艺也不同。要根据实际要求设计。例如：同样是900平方米净化厂房，里面有50个工人和100个工人就需调整通风管道设计。设计时要综合考虑。根据经验，具体环境，调整设计。

净化过滤要求

通风管道一般采用三级过滤，即普通过滤装置、中效过滤装置、高效过滤装置。过滤器的质量好坏，需要重点把关。质量不好的过滤器，用的时间短，过滤效果不好。特别是风阻过大，导致出风量小。据我调查，千级净化室高效过滤器，需到上海采购。通风管道的链接部位，要用质量好的密封圈。用密封胶来弥补密封圈的质量问题，时间稍长一些，管道密封就会出问题，解决起来非常麻烦。会造成意想不到损失。送风管道质量出了问题，等于全部工程推倒重来。净化工程质量出问题，大部分是管道安装出现问题，重新打密封胶，只能暂时解决问题。有的使用单位高效过滤器更换频繁，一般都是送风管道出现毛病，所以安装净化管道必须精心。工程监理一分钟都不可离开。

净化风机选用

净化室根据使用时间决定风机安装数量。如果每天使用24小时，至少应安装两个以上风机。如果每天使用八小时，安装两个风机以下即可。如果间断使用，安装一个风机即可。风机的型号、大小、根据净化室面积决定。

风淋室安装

风淋室相当于净化室的第一道屏障，具体型号由单位时间通过的人数决定。风淋室安装时，各接缝处应严格密封。第一道屏障出了问题，后续有在多屏障保护也不行。第一道防线决不可出一丝一毫问题，安装时务必小心。

净化室玻璃窗也是施工难点，容易出现问题，需特别注意。一般采用双层真空玻璃。安装时周边用优质密封胶封牢，玻璃窗安在密封槽里。

净化室天棚要求

净化室天棚距顶棚有一定高度。一般高度为1.8米左右，便于检修，便于安装照明设备。净化室天棚，是净化室安装工程量最大的部分，也是最难施工部分。无论多大的净化室天棚，安装完毕看上去应为一个整体，看不出有接缝，水平高度一致。天棚必须吊装牢固，不能由于温度变化产生移动，净化室多数情况下为正气压，即室内气压高于室外气压。这对于面积较大的净化室天棚会产生一定的压力，使棚顶出现微小缝隙，影响净化效果。要解决这个问题，在施工时，棚顶所有接缝周边必须用密封胶处理好。密封胶必须使用防霉变密封胶。

选用优质材料是工程关键：

我们的神舟飞船总费用约三百亿左右，飞船的每个零部件都比一般零部件贵几百倍，上千倍。净化室也是相同道理，成败的关键是所用原料设备必须优中选优。任何一点微小的疏忽，都会导致全部工程失效。建筑工程，一般在外表就能判断工程质量，微小细节对整体工程质量影响不大，且容易补救。净化工程则不同，从设计开始，到原料采购、设备安装、具体施工，任何一个环节不允许出一点点问题。稍不小心，一个微小的错误，都会导致无法达到设计要求。精心设计、精心施工、精心准备、优质材料、优质设备，是合格净化室的必备条件。

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