1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

净化车间装修的使用越来越普遍了,电子、食品、医药、机械加工等行业均涉及到了,净化车间设计方案不仅影响着整个净化工程布局合理,而且也影响生产厂的发展,所以规划不仅要考虑当前的需要,更是企业考虑到未来的发展趋势。

净化车间装修设计

1、合理布置工艺流程和建筑平面流程尽可能短,减少交叉往复,人流、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,每间用室相互独立,净化车间的面积应在保证基本要求前提下,与生产规模相适应。

2、选择满足净化车间特点的建筑构造和材料净化车间设计时,净化车间墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材。地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板,不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间专用灯具。

3、划分和布置空调净化和排风系统,选择合理的空气净化通风设备设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚高效(或高效)三级过滤器。也可分四级,增加一级高效过滤器。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等,净化车间设计时,要根据实际情况选择。

净化车无尘间装修流程主要有以下九点:

1.策划:了解客户的需求,确定合理的方案

2.初步设计:净化无尘车间装修公司根据客户的情况,进行项目的设计

3.方案交流:与客户交流初步设计净化车间施工流程并做调整

4.商务洽谈:根据确定的净化车间施工流程,洽商工程造价及签订合同

5.施工图设计:将初步净化车间施工流程方案确定为施工图设计

6.工程:按照净化车间施工图进行施工

7.调试检测:依据验收规范及合同要求,进行调试净化车间施工流程及检测

8.竣工验收:进行竣工验收并交付客户使用

9.维护服务:承担责任,并提供净化车间施工保修期后的服务。


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