半导体器件及硅片的存放环境——温度与湿度??

半导体器件及硅片的存放环境——温度与湿度??,第1张

我们是提供温湿度控制系统的厂家--北京蓝阳鼎点,

你可以设定温度是25度(可任意设定) 低于这个温度 启动加热系统 回滞设定10(可任意设定)加热

系统加热到25+10=35度的时候就自动停止。湿度相同:设定湿度是55度(可任意设定) 低于这个温度

启动加湿系统 回滞设定10(可任意设定)加湿系统加热到55+10=65度的时候就自动停止。

净化车间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

净化车间温度作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种无尘车间不宜超过25度。

无尘车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

此外,无尘车间湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。

不管你是否用过3.5英寸或5.25英寸的软盘,在塑料套里的软盘着起来和用起来都很像唱片、录音带或录像带。只不过唱片、录音带或录像带保存的是音乐、影像,而软盘存储的是信息或数据。制作软盘的特殊材料可以使信息磁化。因为磁体有库已北极,存储在磁盘上的信息被磁化成北或南两个方向。也就是说,信息基本上是以坐标形式存储在磁盘上,就像地球仪上的坐标。信息在磁盘上以极小的颗粒形式存储,这些颗粒被交替磁化为南、北方向。软盘驱动器能把软盘上所载有的信息——即这些被磁化的颗粒翻译成开或关,使计算机通过开关转换实现信息处理。驱动器像唱机一样以一定速度转动磁盘。唱机有一个移动的、可从唱片获取信息的臂,软盘驱动器也有一个移动的、可从磁盘获取信息的读/写头。但是,与唱机臂不同,读/写头实际上并不接触磁盘,而是按某个方向磁化磁盘表面的那些颗粒。硬盘驱动器的工作原理也大致如此。它密封在计算机里面的一个特别的盒子里,像软盘驱动器转动磁盘一样,它转动金属磁盘,但速度要快得多。这就是为什么在硬盘上存取信息或调用程序要比在软盘上快得多。你把磁铁靠近过指南针吗?当你这样做时,指南针并不指向北方,而是指向磁铁。把磁铁靠近一个无关紧要的软盘,软盘上磁化的小颗粒会被弄乱。当你试图再使用这个软盘时,你可能已经无法读出它上面的信息或存储更多的信息了。


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