石英玻璃的用途有哪些？

(1)由于石英玻璃具有优良的耐高温性能，因此被广泛应用于冶金、化工等工业需要耐高温的设备中。 (2)广泛应用于核工业和航空航天领域中，火箭、飞船的观察窗及保温外壳就是用石英玻璃制作的。 (3)由于石英玻璃在高温下的化学稳定性，是其他工程材料无法比拟的，因此被广泛应用于化工、制药等工业中。 (4)由于石英玻璃耐高温且透过率高，因此被广泛应用于国防军工以及新型电光源等高科技领域。 (5)由于石英玻璃具有极佳的光谱特性，不仅可以透过可见光，而且可以透过红外线、紫外线，因此被广泛应用于微电子、信息、激光及天文学中，光导纤维就是用石英玻璃制成的。 (6)因采用连续熔化工艺制造的小口径透明或不透明石英玻璃管成本低廉，但又不失耐高温的特性，所以被大量用于对石英玻璃品质要求不太高的电光源行业和远红外发热器上. (7)因石英玻璃的高纯度、耐高温、低的热膨胀性等优良性能而被大量用于电子工业的生产中，如在对单晶硅片进行掺杂、扩散、氧化、退火等关键工序中使用的石英玻璃扩散管；硅片外延工序使用的石英钟罩；硅片酸洗和超声波清洗工序使用的花篮、支架；硅片扩散工序使用的硅片承载器(石英玻璃舟)；拉制单晶硅工序中使用的石英坩埚等都是用石英玻璃制成的。 (8)为防止污染，提高产品的纯度，在多晶硅生产中用的精馏塔、挥发器(鼓泡器)以及进料管大都采用石英玻璃制造。

石英具有很多的优势，具有坚硬、耐磨、化学性能稳定等特性，这些特性使得石英具有广泛的应用，可以用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备等多种领域。

随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。

---