1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

净化车间又叫无尘车间，无尘车间可以分为以下六个级别:十万级无尘车间、万级无尘车间、千级无尘车间、百级无尘车间、十级无尘车间、一级无尘车扩展资料：100000级十万级无尘车间用于很多的工业部门，比如光学产品的制造，用于较小的元器件制造大型的电子系统，液压或气压系统的制造，食品饮料的生产，医、药工业也常常使用这一级无尘车间。10000级万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。1000级这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。100级很多人认为，这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间，人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室，以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求。100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净室大量应用于，植入体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。10级这个级别的无尘车间主要用于带宽小于 2微米的半导体工业。1级这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的精确要求为亚微米。

一般在净化室是有等级的，选用多种多样工艺流程实际 *** 作时，应依据各工艺流程不一样的规定，选用不一样的气体洁净度等级，根据工艺流程规定明确等级。医药业药生产制造工艺流程的清洁级别和洁净区的划分，应参考《药品生产质量管理规范》中中药制剂和原辅料加工工艺内容及自然环境地区划分而定。药物生产制造净化室的气体洁净度划分为四个等级。在考虑生产工艺流程规定的前提条件下，最先应选用低清洁等级的清洁湿或部分空气过滤；次之可选用部分工作中地区空气过滤和第等级全省空气过滤紧密结合或选用全方位空气过滤。清洁房间内规定：气体洁净度等级高的工艺流程应布局在上风侧，易造成环境污染的工艺技术应布局在挨近送风口部位；清洁车间的平面图和室内空间设计，应考虑生产工艺流程各气体洁净度的规定，洁净区、工作人员清洁、原材料清洁和别的辅助用地要分区布局。另外应考虑到生产制造实际 *** 作、工艺技术安装与检修、管道布局、气旋流形及其空调净化系统软件各种各样技术性设备的综合性融洽。为保证 房间内的洁净度，把应用标准、中央空调的标准等做为更为基础的内容，在充分考虑工作性和气旋情况后再给予明确。在结构需要有提前准备室、更衣间、清理室、休息区、管理室等。做为房间内的清洁化气旋方法，有竖直层.流式、水准层.流式、非层.流式。在其中，究竟应用哪一种方法，要依据洁净度的级别及应用标准来决策。

根据区域环境、净化程度等因素，净化车间可为若干等级。一般来说，数值越小，代表净化级别越高。即百级>千级>万级>十万级>三十万级。以最常见的十万级净化车间来说，指的就是空气洁净度为十万级的洁净车间。

无尘净化车间洁净度级别：百级>千级>万级>十万级>三十万级也就是说值越小，净化级别就越高。洁净度越高造价就越高。无尘车间的净化洁净度根据生产工艺要求，需选合适的级别。

你是怎么分的按高中低三个档次来分的，经过三个环节，最后才可以把它净化干净。

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