扩散硅压力变送器的传感器,是将压力通过不锈钢膜片与内部密封硅油传递到内部的敏感芯片的原理工作的,输出快,灵敏度高,准确稳定,便于小型化生产加工,且敏感芯片可不直接接触被测介质。但受温度影响较大。不管是哪一种压力变送器都是有各自的优点与缺点的,在选购这些产品时,要学会扬长避短,不要单纯看价格或者性能,还要结合自己的实际使用需要与专业人员的建议,选择适合您自己的产品类型。
单晶硅的压阻效应:早在30年代因观察到流体静压力对金属多晶的电阻有影响而发现压阻效应。50年代对锗和硅中的压阻效应又作了较为详细的研究,测定了主要晶向的压阻效应并给出了较完整的压阻系数张量。
制造半导体压力传感器的基本原理是利用硅晶体的压阻效应。压阻型压力传感器的工艺成熟且与集成电路工艺相兼容。可在芯片上制备各种电路,又配合温度补偿技术克服了半导体器件温度影响大的弱点。目前已能制造出温漂小,灵敏度高 、工作稳定、体积很小的压阻型压力传感器。压力传感器所用材料有单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅。
压力变送器感受压力的电器元件一般为电阻应变片,电阻应变片是一种将被测件上的压力转换成为一种电信号的敏感器件。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的黏合剂紧密地粘合在产生力学应变基体上,当基体受力发生应力变化时,电阻应变片也一起产生形变,使应变片的阻值发生改变,从而使加在电阻上的电压发生变化。
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1、压阻式压力传感器
电阻应变片是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象,俗称为电阻应变效应。
2、陶瓷压力传感器
陶瓷压力传感器基于压阻效应,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥,由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号,标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0/3.0/3.3mV/V等,可以和应变式传感器相兼容。
3、扩散硅压力传感器:
扩散硅压力传感器工作原理也是基于压阻效应,利用压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,利用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
4、蓝宝石压力传感器:
利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无与伦比的计量特性。因此,利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,对温度变化不敏感,即使在高温条件下,也有着很好的工作特性蓝宝石的抗辐射特性强另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件,无p-n漂移。
5、压电式压力传感器:
压电效应是压电传感器的主要工作原理,压电传感器不能用于静态测量,因为经过外力作用后的电荷,只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的,所以这决定了压电传感器只能够测量动态的应力。
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常见的压力传感器有四种:
1、应变式压力传感器应变式压力传感器主要通过测量d性元件应变来测量压力的传感器。根据制作材料的不同,应变元件分金属及半导体。当导体与半导体材料出现机械变形时,其电阻值会发生变化。
2、压阻式压力传感器压阻压力传感器是采用单晶硅材料的压阻效应及集成电路制作而成的传感器。单晶硅材料受到力的作用,电阻率会出现变化,此时通过测量电路,正比于力变化的电信号就会输出。和粘贴式应变计有所不同,主要通过硅膜片感受被测压力的。
3、电容式压力传感器电容式压力传感器主要采用电容,将被测压力转成电容值改变的压力传感器。电容器的电极选择圆形金属薄膜或镀金属薄膜,当薄膜感受压力出现变形,此时电容量发生变化,形成电信号。
4、压电式压力传感器压电式压力传感器采用压电效应,用电气元件和其他机械将压力转换成为电量,再进行相关测量工作的仪器。
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