nikon曝光机工作原理

曝光机是20世纪60年初扫描电子显微镜基础发展而来的一种新光刻技术 ，在70年代后广泛应用于半导体电路板生产制造。曝光机即电子串曝光机，是集电子光学、机械、真空、电气、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。

曝光机基本工作原理：

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。根据电路板的线路的粗细来决定上下光源的曝光能量，能量不足电路板无法曝光，要是能量过高电路板就会过曝，所以在曝光电路板时，必须先测试电路板所需的能量，从而进行电路板的曝光生产。

科视LED曝光机的优点：

1、均匀度 90% 以上

2、线路板解析度可达到50μm。

3、节能 80% ，四年内无需更换灯管，无冷却水消耗

4、紧密的光学组合，使光源投射的平行半角小于2°

5、曝光面积为：1000mm×750mm/1300mm×750mm/1500mm×750mm

6、真空盖板自动升起，避免员工繁重的体力劳动

7、LED逐点校正系统实时，实时监控每个发光单元的强度状态

8、超高能量，能有效取代8KW/10KW12KW传统汞灯阻焊曝光机，曝光时间为 20秒

线路板曝光主要是用紫外线固化原理，所有物灯都是UV灯主要有三种1、毛细管灯（超高压汞灯）这种是瞬间点亮，曝完一次后灯管会灭，使用寿命也是按次数计算。目前这种基本没有新的设备出来了。2、长弧灯（中压长弧卤素灯）这是目前使用最普通的。灯管点亮后会一直亮，通过遮光罩控制曝光。因为设备和灯管相对简单，所以普及广。3、平行光灯（短弧灯）使用这种灯管的设备自动化程度会更高，光线解析度也更好，能满足更精细的线路。设备和灯管都会比较贵。

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