硅片的用途

硅片的用途,第1张

硅片的用途

硅主要用于二极管、太阳能电池、集成电路,也可作为外延片的衬底,如存储器电路通常使用Cz抛光片,主要是囚为其成本较低。当前CZ硅片直径可控制在3~12英寸之间。MCZ硅和CZ硅用途基本相似,但其性能好于CZ硅。



FZ硅主要用于高压大功率可控整流器件领域,在大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品的芯片中普遍采用。当前FZ硅片直径可控制在3~6英寸之间。



外延硅片主要用于晶体管和集成电路领域,如逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在集成电路制造中有更好的适用性,并具有消除闩锁效应的能力。当前外延片的直径在3~12英寸之间。实际生产中是从成本和性能两方面考虑新用硅片的生产方法和规格的,当前仍是直拉法单晶硅材料应用最为广泛。

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