MEMS封装的重要性
只有经过封装的MEMS器件才能真正称其为产品,才能投入使用,否则只能称作MEMS芯片“;
目前,很多成功的MEMS芯片没有作为产品得到实际应用的主要原因就是MEMS的封装技术滞后于器件研究;MEMS封装技术的发展将直接影响到MEMS产品的进-步发展和进入市场。
编辑:黄飞
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