β-Ga2O3不仅可用于功率元件,而且还可用于LED芯片、各种传感器元件及摄像元件等,应用范围很广。其中,使用GaN类半导体的LED芯片基板是最被看好的用途。尤其值得一提的是,β-Ga2O3具备适合需要大驱动电流的高功率LED的特性。
GaN基LED芯片广泛用于蓝色、紫色及紫外等光线波长较短的LED。其中,蓝色LED芯片是作为白色LED的重要基础部件。GaN基蓝色LED芯片现在是在蓝宝石基板上制造。
β-Ga2O3基板与蓝宝石基板相比,紫外光及可见光的透射率同为80%,此外其电阻率为0.005Ωcm左右,具有良好的导电性。
透射率越高,就越容易将LED芯片发光层发出的光提取到外部,有望提高光输出功率及发光效率。而且,由于导电性高,因此还可采用在LED芯片表面和背面分别形成阳极和阴极的垂直结构。而蓝宝石基板具有绝缘性,因此采用横向配置阳极和阴极的横向结构。
垂直结构与横向结构相比,不仅可以降低元件电阻及热阻,而且还可使电流分布均匀化。由于元件电阻及热阻越小,LED芯片的发热量就越少,因此适合驱动电流较大的情况。
垂直结构容易使电流分布均匀化,因此即使流过大电流,LED芯片也不易损坏。此外,电流均匀流过LED芯片,还可减轻发光不均现象。因此,与采用横向结构的普通的蓝宝石基板产品相比,β-Ga2O3 基板单位面积的光输出功率估计可达到10倍以上。
SiC基板也可实现垂直结构,但其成本较高。而采用β-Ga2O3的话,则有望以更低成本来制造基板。
SiC基板在元件特性方面也存在问题。SiC基板的蓝色光吸收特性与电阻呈此消彼长的关系。抑制蓝色光的吸收,电阻就会变大。所以元件电阻的降低就会存在极限。
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