泛林集团自维护设备创半导体行业工艺流程生产率新纪录

上海 —— 近日，全球领先的半导体制造设备及服务供应商泛林集团宣布其自维护设备创下半导体行业工艺流程生产率的新标杆。通过与领先半导体制造商合作，泛林集团成功实现了刻蚀工艺平台全年无间断运行。

在当今半导体工艺环境中，平均清洗间隔时间是限制刻蚀系统生产率提高的主要因素。为了保持稳定的性能，通常需要每月、甚至每周清洗刻蚀工艺腔室，并更换被等离子体工艺腐蚀的部件。2019 年 4 月，泛林集团与客户携手达成了一项宏伟目标，实现设备在无需维护清洗的情况下连续运行 365 天，创下里程碑式纪录。

泛林集团自维护设备创生产率新纪录

泛林集团刻蚀产品事业部高级副总裁兼总经理 Vahid Vahedi 表示：“这一突破性成就彰显了泛林集团专注客户合作，帮助客户解决最具挑战性的技术和生产率问题。泛林集团致力于提供符合工业 4.0的技术，使芯片制造企业的生产过程更快速、更准确、更高效。这一新的行业标杆印证了自维护设备可以减少人工劳动，提高生产效率。”

通常，刻蚀工艺模块需要定期维护并更换耗件。更换和清洗部件必须打开腔室完成，在关闭腔室时需要重新验证腔室环境，既耗时又费力，不但影响了产量，还需依靠复杂的调度安排。利用自维护解决方案，设备可自主决策需要更换部件的时间，且无需打开腔室即可自动更换，减少了设备的停机时间，提高了工厂的生产效率。

泛林集团这一创新解决方案包括Kiyo®工艺模块、采用真空传输可更换边缘环的Corvus®R系统、拥有使用寿命更长的腔室组件、以及经过优化的无晶圆自动清洗技术。其中，实现这一空前生产率的关键在于Corvus R系统，它是业界首个可自动更换耗件的系统。长期以来，刻蚀工艺一直存在边缘环腐蚀的问题，需要频繁打开腔室更换部件。Corvus R无需打开腔室，即可自动更换新的边缘环。

这一技术是泛林集团Equipment Intelligence™ 解决方案的一部分。该解决方案集成了关键元件，并可创建自感知、自维护和自适应的设备与工艺。此外，Equipment Intelligence解决方案整合了机器学习、人工智能和自动化、自感知的硬件与工艺，有望提高生产效率，改善产品性能，加速行业创新。