从物联网角度去认识MEMS传感器

说到MEMS技术，可能大多数人都不太熟悉，这没关系，因为MEMS本身就是一门新兴技术。从诞生到现在也没多长时间。在这之前，我先给大家介绍下物联网。相信很多人或多或少的都听说过这个词，比如工业4．0、物联网等等。

物联网是通过各种传感技术（RFID、传感器、GPS、摄像机、激光扫描器……）、各种通讯手段（有线、无线、长距、短距……），将任何物体与互联网相连接，以实现远程监视、自动报警、控制、诊断和维护，进而实现“管理、控制、营运”一体化的一种网络。

我举一个生活中最常见的例子，当下最流行的支付宝或者微信扫码支付，这就用到了物联网技术。而今天我给大家介绍的是物联网技术中用到的感官系统——MEMS传感器。我是一名在校研究生，学的专业就是MEMS专业，随着学习的深入，我越来越感觉这个领域会在以后更加重要。

微机电系统（英语：Microelectromechanical Systems，缩写为MEMS）是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的 *** 作范围在微米范围内。比它更小的，在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。MEMS设计出的实物大多数是传感器，微型传感器。

下面我举出一些生活中的MEMS传感器，大家可以发现这种小东西就在我们身边。

一、汽车安全气囊中的MEMS加速度传感器。

图一： 汽车安全气囊的MEMS加速度传感器

二、汽车轮胎中的MEMS压力传感器，由于MEMS传感器的显著优点就是体积小，所以不占空间。可用到小型物体中。

图二、轮胎中的MEMS压力传感器三、MEMS微型投影仪，体积小的优点可以使得投影仪做的很小，方便携带。

图三、MEMS微型投影仪

三、MEMS微型麦克风，我们手机里的麦克风使用MEMS技术后，体积将更小，手机因此也可以做的更薄。声音保真度将会大大提高。

图四、手机里的MEMS微型麦克风五、MEMS微型陀螺仪，手机里的陀螺仪，小型无人机中的陀螺仪等等都采用了MEMS工艺来制作。

四、MEMS热膜传感器，可用来贴附在表面测温度而不影响工作。比如贴附在发动机啊叶片表面，实时监测叶片的温度，因为太薄不影响叶片的旋转。