Epson Toyocom开发出高性能的水晶绝对压力传感器

产品特性：

• 具有±10帕的高精度
• 0.1帕的高分辨能力
• 体积为12.5ml、重量为15g
• 压力检测范围：50 ～ 150 kPa
• 工作温度范围：-20 ～ +70 ℃

应用范围：

• 气象观测中大气压的高精度测试
• 大气压变化的高低差的测试
• 室内门窗等开关的内部压力变化测试
• 高精度气压测试等新领域

Epson Toyocom公司开发出小型，高性能的水晶压力传感器，采用独创的QMEMS技术制造出的压力传感结构，以此开发出具有±10帕（约一万分之一气压）的高精度与0.1帕的高分辨能力的高性能且体积为12.5ml、重量为15g的小型水晶绝对压力传感器。

预定2009年度将其商品化。

压力传感器在通常情况下存在下述技术课题：小型化时会造成性能下降；追求高性能时又不得不增大构造。

Epson Toyocom在压力检测单元中采用音叉型晶体单元，由此得到安定度高的振荡频率，从而实现了具有高精度及高分辨能力的水晶压力传感器。
在此之上又使用QMEMS技术新开发出独创的压力传感构造，使同时具有小型及高性能——这两种相对性能的产品的实现变为可能。

为此，可以下述领域(例如：气象或安全方面)为代表，在使用压力传感器的各种仪器的小型化及性能提高上做出巨大贡献。

• 用于气象观测中大气压的高精度测试
• 用于大气压变化的高低差(以约1cm为单位的高度)的测试
• 用于测试室内门窗等开关而造成的微小的内部压力变化

而且是通过搭载于周围机器，可应用于高精度气压测试等新领域的可行性的产品。

现在，Epson Toyocom正将本产品所采用的独创的压力传感构造不断推广到其它能够适用于各种用途的水晶压力传感器的开发上，今后亦将不断推进使用基于QMEMS技术的超精微加工技术、晶体振荡器中酝酿出的高安定振荡电路技术以及高精度检测技术的进化，创造出更高程度的高性能化和小型化。

主要规格

项目 规格 压力检测范围 50 ～ 150 kPa （绝对压力） 综合压力精度 ±10 Pa 分辨能力 0.1 Pa 工作温度范围 -20 ～ +70 ℃ 输出接口 RS-232C 外部尺寸规格 25 × 25 × H20 mm（固定部分除外）

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