至纯科技—立足高纯工艺，半导体清洗设备将迎增长

东吴证券发布投资研究报告，评级: 增持。

至纯 科技 (603690)

国内高纯工艺系统龙头，后发进军半导体清洗设备业务

至纯 科技 主要从事高纯工艺系统和半导体湿法清洗设备业务，2019年收入分别为6.37亿元和0.82亿元，占比总收入的65%和8%。其中，半导体清洗设备业务，虽然起步稍晚，但市场空间大、增速快，是公司的最大业务亮点。2015-2019年公司收入由2.08亿元增长至9.86亿元，CAGR达48%，归母净利润从1770万增长至1.1亿，CAGR达57%。

2019年公司收购波汇 科技 进军光传感器市场，产业链向下延伸的同时也将与现有的泛半导体行业多项业务形成协同效应。

高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司提供稳定的现金流

高纯工艺系统是为下游企业提供整体解决方案的业务，属于特定行业的系统集成业务，是制造业企业新建厂房和生产线的固定资产投资的重要组成部分，约占其固定资产投资总额的5%-8%。

公司高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。公司董事长蒋渊曾是行业龙头美国凯耐第斯的中国区营销总监，团队技术积累深厚，帮助至纯的系统集成业务逐步实现进口替代。2012年-2019年高纯工艺系统收入从1.37亿元增长到6.37亿元，复合增速为25%，是为公司提供稳健增长现金流的业务板块。主要下游为医疗、光伏、半导体等，订单增长与下游客户的固定资产投资紧密相关。我们预计2020到2022年高纯工艺系统收入分别为8.6、10.4、11.4亿元。

进军半导体清洗设备领域，赛道好空间大，容易率先实现全面国产化

清洗设备在半导体设备市场中价值量占比约5-6%，较光刻、刻蚀等核心设备价值量较低。同时技术门槛也较低，比较容易率先实现全面国产化，故市场空间大。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备的空间在15-20亿美元，到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，即国产设备的市场空间在40-70亿元。且预计未来12寸晶圆的槽式和单片式清洗设备将是市场的主要增量，其中单片式清洗机至纯有望成为少数几家具备核心技术的国内设备商。

公司的半导体清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备（难度低）和单片式清洗设备（难度高）。2019年起开始批量出货，目前槽式清洗设备和单片式清洗设备均能应用于8寸及12寸的晶圆。公司凭借技术优势，迅速积累了中芯国际、北京燕东、TI、华润等高端客户资源，2019年湿法工艺装备新增订单总额达1.7亿元（截止2019年末，累计已取得近40台正式订单，已完成近20台设备装机）。目前公司启东一期生产基地全面建成，已达到48套/年的产能，一二期共规划96套/年，公司于2019年12月发行可转债，募资3.56亿元投入槽式和单片式清洗设备的生产制造。项目预计在2022年达产，预计初步可贡献最高达9亿元的清洗机业务的收入规模。我们预计2020到2022年半导体设备收入分别为1.6、2.9、5.0亿元。

盈利预测与投资评级：

我们预计公司2020-2022年的净利润分别为1.5亿、2.1亿、2.8亿，当前股价对应动态PE分别为53倍、38倍、29倍，在可比公司中处于最低位置，我们看好公司半导体清洗设备业务的发展，在估值上存在提升空间，首次覆盖给予“增持”评级。

风险提示：半导体业务进展不及预期；毛利率波动风险；收购协同效应不及预期。

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工业超声波清洗机是许多清洗应用的有效解决方案，它们通常比传统的清洗方法工作更快，清洗更彻底。当正确配置合适的超声波清洗机时，可以避免使用苛刻的化学品和手工擦洗。关键是要选择一个具有正确的特点和功能的清洁剂。在选择工业超声波清洗机时要考虑的重要因素包括频率、容器尺寸、功率、清洗液和 *** 作温度。

1、选择最佳超声波清洗频率

超声频率决定了在清洗液中产生清洗作用的空化气泡的能量水平。低频率导致更大，更有活力的气泡更强大的清洁，而高频率产生更小，低能量的气泡。25kHz 和40kHz 之间的低频率适合于清洁硬表面或去除油，但是如果零件表面柔软，这些频率会产生点蚀。理想的频率是基于被清洁物体的材质，表面尺寸和污染的性质。

2. 超声波清洗槽尺寸

清洗系统的容器尺寸是至关重要的，因为要清洗的部件必须浸在清洗液中。对于单一应用的超声波清洗器，适合于特定部件清洗的定制容器尺寸是合适的。对于一般用途的清洁剂，罐子必须适合最大部分的最长尺寸。

如果许多不同的部分要在同一时间清洗，可能需要一个篮子。篮子保持小部件清除坦克底部或侧面，因为振动对坦克墙壁在清洁可能会损坏部件。如果使用一个足够大小的篮子，清洗槽的大小必须能够容纳篮子。

3. 超声波清洁电源

超声波清洗系统必须产生足够的超声波来填充清洗槽。如果功率太低，会产生死点，清洗不均匀。交钥匙系统自动为超声波清洗系统提供正确的功率水平，但是如果超声波发生器、传感器和清洗罐分别购买，确保功率足够大，对于有效清洗非常重要。

对于大型储罐，可能需要几个传感器。工业超声波清洗机的供应商可以分析需求，并建议客户适当的功率水平。无论是超声波功率额定值和多个传感器的配置都会影响清洗性能，特别是如果超声波清洗机添加到现有的坦克。

4. 用温和的肥皂和洗涤剂清洁

工业用超声波清洗机可以用去离子水进行轻度清洗，但是一些较重的清洗应用可以从肥皂、洗涤剂或温和溶剂的使用中获益。如果一个特定的污染物是难以清洗，特定的溶剂污染物往往会加快清洗和改善清洗性能。温和的肥皂和洗涤剂可以帮助清洁油性残留物，但通常不使用苛刻的化学品。

5、利用热量提高清洗效果

工业超声波清洗机可以去除由硬化油脂和碳沉积物构成的重污染物，但清洗过程可能需要更多的时间。这些类型的沉积物可以通过加热软化，而且软物质更容易去除。将清洗液加热到刚好低于沸点，可以加速清洗这些应用程序，并有助于确保完全去除污染。

如果要使用热量，罐体和超声波传感器必须能够在100摄氏度以下的温度下工作。油箱必须装有加热器，而且零件本身必须能够承受高温。

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