重掺杂的n型多晶硅与重掺杂的p型多晶硅接在一起是导线还是pn结?

重掺杂的n型多晶硅与重掺杂的p型多晶硅接在一起是导线还是pn结?,第1张

我晕,多晶硅就是多晶硅,掺杂时候(比如离子注入)杂质是进不去的,所以不管是n管还是p管的poly是完全一样的,没有你说的什么结的影响,只是poly电阻较大,如果是距离比较长的话,也不会用于做导线

补充一下,业界常说,要构成MOSFET就是poly over diffusion,掺杂只对diffusion,poly不受影响

lpt=lower power tech,

hlp=high-performance low power,

hpm=high performance mobile移动高能低功耗工艺,台积电主要指hkmg

litho是浸染式光刻,193nm波长,1.35的折射率,晶圆技术。

salicide自对准硅化物,形成电触头之间的半导体 装置和支承互连结构,soc里控制电阻的部分,对应的是SILICIDE、和POLYCIDE。

back end of line,beol——后端布线,soc各具体部分(晶体管,电容器,电阻器等)在晶片上的互连布线。

采用copper铜布线,介电常数k=2.5

漏源极嵌入硅锗技术(eSiGe)

都是微电子的术语。


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