补充一下,业界常说,要构成MOSFET就是poly over diffusion,掺杂只对diffusion,poly不受影响
lpt=lower power tech,hlp=high-performance low power,
hpm=high performance mobile移动高能低功耗工艺,台积电主要指hkmg
litho是浸染式光刻,193nm波长,1.35的折射率,晶圆技术。
salicide自对准硅化物,形成电触头之间的半导体 装置和支承互连结构,soc里控制电阻的部分,对应的是SILICIDE、和POLYCIDE。
back end of line,beol——后端布线,soc各具体部分(晶体管,电容器,电阻器等)在晶片上的互连布线。
采用copper铜布线,介电常数k=2.5
漏源极嵌入硅锗技术(eSiGe)
都是微电子的术语。
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