半导体表面材料清洗为什么先用一号液

半导体表面材料清洗为什么先用一号液,第1张

半导体材料表面污染物主要有二类:有机污染物和金属离子污染。一号液主要是清除有机污染物如油脂等的,二号液则主要清除金属离子污染。只有先清除材料表面覆盖的油污,才能彻底清除油污下面的离子污染物。所以应该先用一号液清洗,然后再用二号液清洗。

我觉得,如果表面有一个薄的氧化层的话,那么对于p型材料来说,在界面处,能带应该又材料到氧化层向下弯曲,这样表面的正电荷应该向外(即氧化层方向移动),这样就在界面处(P型材料的一边)留下了负电荷,所以氧化层表面应该带正电荷,所以电场应该是从氧化层表面指向体内的

——半导体表面态主要有两种:

(1)固有(本征)表面态:晶格中断→表面产生悬挂键→具有束缚电子的作用~表面态.

(2)非本征表面态:杂质或者缺陷产生的价键→表面态.

——因为表面态是电子的一种束缚状态,所以,在能带图上,表面态上电子所对应的能量——能级,就称为表面能级.

——表面态也可以是空穴的束缚状态.

——表面态对于半导体性能的影响,主要表现为起复合中心作用,降低少数载流子寿命.


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