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安徽启德半导体设备安装有限公司企业发展事业群为公司新业务孵化和新业态探索的平台,推动包括基础支付、金融应用在内的金融科技业务、广告营销服务和国际业务等领域的发展和创新。同时作为专业支持平台,为公司及各事业群提供战略规划、投资并购、投资者关系及国际传讯、市场公关等专业支持。
安徽启德半导体设备安装有限公司在发展的过程中还不断升级服务渠道,进一步提升自身的各项服务指标,给更多消费者提供保险保障服务。智华传奇科技有限公司的电话呼入人工接通率、犹豫期内电话回访成功率和保全时效指标均有很大的提升空间。
公司提倡从服务客户的角度,设身处地,换位思考,不断加强服务意识,提高自身服务质量,切实解决客户需要,满足客户的期望,持之以恒地通过全心全意、尽心尽力的服务换来客户的认可和满意。
本发明涉及一种TFT基板及TFT基板的制造方法,特别地,涉及一 种具备作为TFT (薄膜晶体管)的有源层的氧化物半导体(n型氧化物半 导体层)的顶栅型的TFT基板及TFT基板的制造方法。此外,此TFT基 板及TFT基板的制造方法通过利用第二氧化物层(氧化物导电体层)形成 源布线、漏布线、源电极、漏电极及像素电极,就能够削减制造工序,并 能够降低制造成本。背景技术:
基于显示性能、节约能源等的理由正广泛地利用LCD(液晶显示装置) 和有机EL显示装置。特别是,这些作为携带电话和PDA (个人携带信息 终端)、电脑和膝上型电脑、电视机等显示装置,基本上成为主流。在这 些显示装置中,通常使用TFT基板。例如,液晶显示装置在TFT基板和对置基板之间填充有液晶等的显示 材料。此外,此显示材料对每个像素选择地施加电压。在此,TFT基板是 配置由半导体薄膜(也称为半导体膜)等形成的TFT (薄膜晶体管)的基 板。由于TFT基板通常以阵列状配置TFT,所以也称为「TFT阵列基板J。再有,在液晶显示装置等中使用的TFT基板中,在玻璃基板上纵横地 配设TFT和液晶显示装置的画面的1像素的组(将这称为1单元)。在TFT 基板中,在玻璃基板上,例如在纵向上以等间隔配置栅布线,在横向上以 等间隔配置源布线或漏布线的一个布线。此外,源布线或漏布线的另一个 布线、栅电极、源电极及漏电极分别被设置在构成各像素的上述单元中。<TFT基板的现有制造方法>现在,作为此TFT基板的制造方法,通常已知有使用5片掩模的5 片掩模工艺、和通过半色调曝光技术使用4片掩模的4片掩模工艺等。 当前,在这样的TFT基板的制造法中,由于使用5片或4片的掩模,所以其制造工艺需要很多工序。例如,4片掩模工艺需要超过35步骤(工 序)的工序,5片掩模工艺需要超过40步骤(工序)的工序。像这样,工 序数量增多时,就会担心制造合格率下降。此外,工序数量多时,就会担 心工序变复杂,制造成本增大。 (使用5片掩模的制造方法)图54是用于说明现有例相关的TFT基板的制造方法的示意图,(a) 表示形成有栅电极的剖面图。(b)表示形成蚀刻停止层的剖面图。(c)表 示形成有源电极及漏电极的剖面图。(d)表示形成有层间绝缘膜的剖面 图。(e)表示形成有像素电极的剖面图。在图54 (a)中,在玻璃基板9210上,使用第一掩模(未图示)形成 栅电极9212。即,首先在玻璃基板9210上通过溅射堆积金属(例如Al (铝)等)。接着,使用第一掩模通过光刻法形成抗蚀剂。接着,通过按 规定的形状进行蚀刻,形成栅电极9212,灰化抗蚀剂。接着,如图54 (b)所示,在玻璃基板9210及栅电极9212上依次层 叠由SiN膜(氮化硅膜)形成的栅绝缘膜92B、及a-Si:H(i)膜9214。接 着,堆积作为沟道保护层的SiN膜(氮化硅膜)。接着,使用第二掩模(未 图示)通过光刻法形成抗蚀剂。接着,是用CFH气体以规定的形状干蚀 刻SiN膜,形成蚀刻停止层9215,灰化抗蚀剂。接着,如图54 (c)所
SGS报告是sgs公司出具的SGS简介
SGS 是 Societe Generale de Surveillance S.A. 的简称,译为“通用公证行”。
它创建于1887年,是目前世界上最大、资格最老的民间第三方从事产品质量控制和技术鉴定的跨国公司。总部设在日内瓦,在世界各地没有251家分支机构,256个专业实验室和 27000名专业技术人员,在142个国家开展产品质检、监控和保证活动。
据该公司宣称,目前世界上有23个国家(主要是发展中国家)的政府实施SGS检验包括:安哥拉、阿根廷、玻利维亚、布基那法索、布隆迪、柬埔寨、喀麦隆、中非、刚果共和国、象牙海岸、厄瓜多尔、几内亚、肯尼亚、马拉维、马里、毛里塔尼亚、墨西哥、巴拉圭、秘鲁、菲律宾、卢旺达、塞内加尔、刚果民主共和国、赞比亚。 这些基于对SGS的公正性、科学性、权威性和技术能力的充分信任,委托SGS对进品货物实施“装船前全面监管计划”(英文是Comprehensive Import Super-vision Scheme,简称CISS),即贸易发展,并抑制非法的进出品活动。
SGS关务作业是指货物进品国政府或政府授权海关当局与SGS签署协议,由SGS在货物出口国办理货物装船前的验货、核定完税价格(或结汇价格)、税则归类(在进口国实行HS 制度的前提下),执行进品管制规定(如是否已事先申领进口许可证件等)等原系由进口国海关在货物运抵进品国后所执行的进品验关作业由SGS确认真实、合理后,出具公证报告,即“清洁报告书”(Clean Report of Finding,简称CRF),作为货物进口后向海关申报时必须交验的单证,进口国海关凭此简化或免除多道通关手续,直接征税后放行,既加快了验放(一般不复检),又严密了监管。反之,则签发“不可兑现报告书” (Non-Ne-gotiable Report of Findings),这样,即使货物运抵目的港,进口国海关不予通关,出口商也不能结汇。
SGS关务作业一般包括以下内容:
1、检查(验)货物规格、数(重)量和包装。包括对商品进行物理测试、化学分析和外观检查,对数(重)量按照国际贸易中惯用方法进行鉴定;包装则要求货物能完好无损地运抵目的港收货人手中。对药品和化学品要查检有效期限等。
2、对大宗货物要求进行监视装载。一是保证所载货物是经过SGS检查(验)过的,二是保证合同项下货物完全、牢固地装在指定的运输船舶上.对集装箱货物要求进行监视装箱作业和施封。
3、核定价格。即对成交价格进行审核,这是实施CISS的最重要内容,也是吸引许多国家的原因之一,目的是防止进口商低价高报,避免资金外流,或防止高价低报,偷逃关税。SGS利用电脑网络收集储存各个渠道的商情,并要求出口商提供价格构成细目表,如出厂价、成品包装费、仓储费、运往码头运费、装船费、海运或空运费、佣金以及商业上可接受的附加费等,以便对货价同出口价或当地消费价格进行比较,查证卖方最后商业发票的总价及价格要素是否符合该商品在原产地供应国的正常出口价,保证完税价格和进口国外汇支出的合理性。
4、海关税则归类。审核进口商在进口许可证中所填报的税号与该国现行的海关税则规定是否相符,或依据验货时所见的实物提出合理的税号和税率,确保关税的足额征收和海关统计的准确性。
5、审核进口商品是否符合进口国外贸、海关法令,进口必需的许可手续是否齐备与合法,以有效杜绝无证到货和违禁品、管制商品的非法进口。
SGS关务作业流程大致如下:
1、 出口成交。
出口商按正常的贸易程序与进口商达成出口交易,进口商再把有关这笔交易的情况通知本国的SGS联络办公室,同时通知出口商需请SGS-CSTC验货。SGS-CSTC收到进口国SGS联络办公室的通知(检验编号)后,传真(邮寄)给出口商一份注明"SGS检验编号"(I.O.NO.)和SGS-CSTC"ICN"编号的空白验货申请表(RFI),通知出口商提交单据,安排验货。
2.申请验货。
为安排检验,出口商或报关行须在出口货物备妥前7天需填写带有SGS检验编号的验货申请表(RFI),连同下列单据一起传真(寄)给离验货地点最近的SGS-CSTC分公司。
这些单据包括形式发票、形式装箱单及零备件清单、产品技术规格资料、样本、信用证、制造商测试报告(机器/设备)、制造商分析报告(化工/医药/石油/染料产品)、卫生证书(食品)、植物检疫证书(全部农产品)、厂检分析单(全部钢铁材料及其初级产品)。所有提交给SGS-CSTC的单据均要注明SGS检验编号(此编号见验货申请表)。
在验货申请表上应列明供货商的详细资料,如联系人及联系电话、验货时间、验货地点等,以便SGS-CSTC与之联系,安排检验。
3.接受验货。
由CISS国家法规要求的装船前检验,SGS-CSTC不向出口商收取任何费用。出口商有义务把货物备妥并提供必要的(搬运)劳力和设备,以便检验顺利完成。出口商如果委托供货商或代理安排验货时,出口商有义务使供货商或代理清楚检验要求。如果货物没有按要求准备好或不具备检验条件,SGS-CSTC保留中止检验的权利。每一批在"全面进口监管计划(CISS)"下的货物都须由SGS-CSTC进行实物检验。SGS-CSTC的检验员将对照出口商的形式文件,检验货物的规格、名称、数量、外观质量,必要时要抽取样品。
4.申请核发公证报告。
出口货物经向海关报关装船后,出口商须备妥正本提单、发票装箱单等,向SGS申请核发公证报告。SGS-CSTC完成检验后,出口商须按国别把最终文件分别传真(寄)给SGS-CSTC上海经济事务部(EAD)。所有提交给SGS-CSTC的文件都应注明SGS检验编号(此编号见验货申请表)。如果SGS-CSTC的检验结果同出口商的最终文件有差异或文件不齐全,SGS会同出口商联系,要求修改文件、补充文件或通知进口国SGS联络办公室,以取得进口商的确认。
5.向SGS领取公证报告。
如果出口商收到的信用证上要求"在出口商的发票上贴SGS安全标签"(Security lable),出口商可提交一份最终出口发票给最近的SGS-CSTC分公司,并去领取安全标签,或要求SGS-CSTC将安全标签邮寄给出口商。请注意,只有在完成以上1-4程序后,SGS-CSTC才会签发安全标签。
此外,SGS还要求厂商在结关日前,电话通知有关船名、码头、装运单(S/D)号码筹,以便SGS认为有必要再派员复验。 SGS现已与我国政府官方机构-国家商检局合作,由国家商检局指定中国进出口商品检验总公司(CCLS )代理他们办理从中国出口输往实施CISS国家商品的装船前检验,核定价格及税则号列,并代理SGS签发清洁报告书。目前有权签发的有辽宁、北京、天津、河北、山东、湖北、上海、广东等10个进出口商品检验公司。
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