安徽启德半导体设备安装有限公司怎么样？

安徽启德半导体设备安装有限公司在行业内属于新兴科技型半导体设备安装企业，其客户口碑还是不错的。在公司发展壮大的几年里，始终为客户提供好的产品和技术支持、健全的售后服务，获得了客户较好的口碑。整体上，安徽启德半导体设备安装有限公司是一家发展不错的技术服务企业。

安徽启德半导体设备安装有限公司通过互联网服务提升人类生活品质是星钻科技有限公司的使命。安徽启德半导体设备安装有限公司把“连接一切”作为战略目标，提供社交平台与半导体设备两项核心服务。

安徽启德半导体设备安装有限公司的相关绍如下：

安徽启德半导体设备安装有限公司企业发展事业群为公司新业务孵化和新业态探索的平台，推动包括基础支付、金融应用在内的金融科技业务、广告营销服务和国际业务等领域的发展和创新。同时作为专业支持平台，为公司及各事业群提供战略规划、投资并购、投资者关系及国际传讯、市场公关等专业支持。

安徽启德半导体设备安装有限公司在发展的过程中还不断升级服务渠道，进一步提升自身的各项服务指标，给更多消费者提供保险保障服务。智华传奇科技有限公司的电话呼入人工接通率、犹豫期内电话回访成功率和保全时效指标均有很大的提升空间。

公司提倡从服务客户的角度，设身处地，换位思考，不断加强服务意识，提高自身服务质量，切实解决客户需要，满足客户的期望，持之以恒地通过全心全意、尽心尽力的服务换来客户的认可和满意。

本发明涉及一种TFT基板及TFT基板的制造方法，特别地，涉及一 种具备作为TFT (薄膜晶体管)的有源层的氧化物半导体(n型氧化物半 导体层)的顶栅型的TFT基板及TFT基板的制造方法。此外，此TFT基 板及TFT基板的制造方法通过利用第二氧化物层(氧化物导电体层)形成 源布线、漏布线、源电极、漏电极及像素电极，就能够削减制造工序，并 能够降低制造成本。

背景技术：

基于显示性能、节约能源等的理由正广泛地利用LCD(液晶显示装置) 和有机EL显示装置。特别是，这些作为携带电话和PDA (个人携带信息 终端)、电脑和膝上型电脑、电视机等显示装置，基本上成为主流。在这 些显示装置中，通常使用TFT基板。例如，液晶显示装置在TFT基板和对置基板之间填充有液晶等的显示 材料。此外，此显示材料对每个像素选择地施加电压。在此，TFT基板是 配置由半导体薄膜(也称为半导体膜)等形成的TFT (薄膜晶体管)的基 板。由于TFT基板通常以阵列状配置TFT，所以也称为「TFT阵列基板J。再有，在液晶显示装置等中使用的TFT基板中，在玻璃基板上纵横地 配设TFT和液晶显示装置的画面的1像素的组(将这称为1单元)。在TFT 基板中，在玻璃基板上，例如在纵向上以等间隔配置栅布线，在横向上以 等间隔配置源布线或漏布线的一个布线。此外，源布线或漏布线的另一个 布线、栅电极、源电极及漏电极分别被设置在构成各像素的上述单元中。<TFT基板的现有制造方法>现在，作为此TFT基板的制造方法，通常已知有使用5片掩模的5 片掩模工艺、和通过半色调曝光技术使用4片掩模的4片掩模工艺等。 当前，在这样的TFT基板的制造法中，由于使用5片或4片的掩模，所以其制造工艺需要很多工序。例如，4片掩模工艺需要超过35步骤(工 序)的工序，5片掩模工艺需要超过40步骤(工序)的工序。像这样，工 序数量增多时，就会担心制造合格率下降。此外，工序数量多时，就会担 心工序变复杂，制造成本增大。 (使用5片掩模的制造方法)图54是用于说明现有例相关的TFT基板的制造方法的示意图，(a) 表示形成有栅电极的剖面图。(b)表示形成蚀刻停止层的剖面图。(c)表 示形成有源电极及漏电极的剖面图。(d)表示形成有层间绝缘膜的剖面 图。(e)表示形成有像素电极的剖面图。在图54 (a)中，在玻璃基板9210上，使用第一掩模(未图示)形成 栅电极9212。即，首先在玻璃基板9210上通过溅射堆积金属(例如Al (铝)等)。接着，使用第一掩模通过光刻法形成抗蚀剂。接着，通过按 规定的形状进行蚀刻，形成栅电极9212，灰化抗蚀剂。接着，如图54 (b)所示，在玻璃基板9210及栅电极9212上依次层 叠由SiN膜(氮化硅膜)形成的栅绝缘膜92B、及a-Si:H(i)膜9214。接 着，堆积作为沟道保护层的SiN膜(氮化硅膜)。接着，使用第二掩模(未 图示)通过光刻法形成抗蚀剂。接着，是用CFH气体以规定的形状干蚀 刻SiN膜，形成蚀刻停止层9215，灰化抗蚀剂。接着，如图54 (c)所

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